近年來，在低溫（低于123K或-150°C）下，晶圓上超導(dǎo)材料，其他新型材料和傳統(tǒng)半導(dǎo)體的使用迅速增長。具有創(chuàng)造力的新型傳感器利用了非常低的溫度下獨特的材料特性，可以檢測各種物理現(xiàn)象，例如紅外輻射，磁場，X射線等。它們在醫(yī)療，國防，工業(yè)自動化和天文學(xué)等許多行業(yè)中都有應(yīng)用。最近，量子計算和超導(dǎo)邏輯領(lǐng)域的發(fā)展為計算的未來帶來了巨大的能量和性能提升。毫無疑問，將會有更多的低溫應(yīng)用和設(shè)備。

高性能熱成像是其中之一，如今已廣泛用于監(jiān)視/安全，夜視，遙感，氣象學(xué)，軍事威脅和目標(biāo)檢測，體熱分析，天文學(xué)等。這些系統(tǒng)使用基于冷卻的紅外傳感器的FPA（焦平面陣列）。低溫環(huán)境有助于降低熱噪聲，因此這些檢測器陣列可以提供更高的分辨率和靈敏度。

冷卻的IR傳感器由不同的材料制成，目標(biāo)是從近紅外（NIR）到長波紅外（LWIR）的各種波長范圍，包括硅，多種III-V化合物（InGaAs，InSb，InAsSb，InAs / GaSb等），通常設(shè)計為量子阱光電探測器，MCT（碲化汞鎘）以及包括YBCuO，GdBO3，MgB2等在內(nèi)的超導(dǎo)光子探測器技術(shù)。在晶圓上測試這些低溫技術(shù)需要低溫探針系統(tǒng)。

該低溫測試儀將其封閉在真空室中以提供適當(dāng)?shù)拿芊夂团趴窄h(huán)境。恒定的液氮或液氦流量或其他冷卻技術(shù)可達(dá)到77 K或更低的溫度。此外，低溫恒溫器本身包含電阻加熱器，低溫級溫度傳感器和溫度控制器，可在較寬的溫度范圍內(nèi)為該熱系統(tǒng)提供出色的穩(wěn)定性。信號饋通，攝像機(jī)光學(xué)器件和探頭定位器控件都需要特別考慮才能進(jìn)入極端真空/寒冷的環(huán)境。安全性，振動和樣品安裝也對真空/低溫條件提出了新的挑戰(zhàn)。甚至探針也必須設(shè)計用于低溫條件。最后，盡管對于僅帶有少量信號的單個小切丁樣品而言，有許多解決方案可用，但過程和產(chǎn)品鑒定需要更高級別的工具。高容量測試需要一個用于容納完整晶片樣品的大腔室，多通道低溫探針卡，一個用于在整個晶片表面上進(jìn)行分步重復(fù)測試的軟件控制晶片臺以及其他功能，以最大化測試吞吐量。

通過強大功能的無與倫比的組合，我們在高通量低溫晶圓測試中處于領(lǐng)先地位：

• 具有可編程電動XYZΘ級的分步重復(fù)自動化。
• 在每一步執(zhí)行基于攝像機(jī)的自動對準(zhǔn)調(diào)節(jié)。
• 多個 8 個容易定位且非常穩(wěn)定的超低溫探針（用于 DC、RF 和光信號）—— 和用于更高信號數(shù)的探針卡。
• 樣品尺寸從碎片到 200mm 全晶圓（可提供 300mm 選項）。
• 晶圓調(diào)換不會損壞探針或探針卡。
• 可編程，電動定位多個黑體輻射源，顯微鏡和其他設(shè)備

高測試吞吐量使我們的客戶能夠從實驗室概念過渡到設(shè)備表征，從設(shè)計調(diào)試到大規(guī)模工程/生產(chǎn)測試。我們的陣容PAC200探針臺，PMC200探針臺，和PLC50探針臺，包括多個大小和自動化級別，以及靈活/可自定義的配置。

審核編輯：符乾江