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原位生長(zhǎng)鈣鈦礦晶片實(shí)現(xiàn)高效直接X(jué)射線探測(cè)及掃描成像

MEMS ? 來(lái)源:MEMS ? 作者:MEMS ? 2022-11-25 10:16 ? 次閱讀
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近日,中國(guó)科學(xué)院深圳先進(jìn)技術(shù)研究院先進(jìn)材料科學(xué)與工程研究所研究員喻學(xué)鋒、副研究員劉延亮團(tuán)隊(duì)與生物醫(yī)學(xué)與健康工程研究所研究員葛永帥團(tuán)隊(duì)合作,在Advanced Science期刊上,在線發(fā)表了題為PbI2-DMSO Assisted In-situ Growth of Perovskite Wafer for Sensitive Direct X-ray Detector的研究論文。該研究聚焦鈣鈦礦直接型X射線探測(cè)器中鈣鈦礦晶片材料缺陷密度高、載流子傳輸效率低的科學(xué)問(wèn)題,原創(chuàng)性地開(kāi)發(fā)出鈣鈦礦晶體的原位生長(zhǎng)技術(shù),提高了鈣鈦礦晶片的光電性能,實(shí)現(xiàn)了高效直接X(jué)射線探測(cè)及掃描成像。該工作為制備高靈敏、高分辨直接X(jué)射線探測(cè)器提供了新的技術(shù)路線,并有望應(yīng)用于未來(lái)高端醫(yī)療影像診斷和芯片無(wú)損檢測(cè)等領(lǐng)域。

X射線探測(cè)在醫(yī)學(xué)診療、安防檢查、工業(yè)無(wú)損檢測(cè)等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。然而,目前商用的閃爍體間接X(jué)射線探測(cè)器存在二次光電轉(zhuǎn)化效率低、可見(jiàn)光色散等問(wèn)題,導(dǎo)致探測(cè)靈敏度低、輻射劑量高、空間分辨率差,無(wú)法滿(mǎn)足高端醫(yī)學(xué)影像、芯片檢測(cè)等領(lǐng)域的需求。相比之下,基于半導(dǎo)體材料的直接X(jué)射線探測(cè)器可通過(guò)一次光電轉(zhuǎn)換,直接將X射線轉(zhuǎn)換成電信號(hào),具有更高的光電轉(zhuǎn)換效率、探測(cè)靈敏度和空間分辨率。然而,當(dāng)前常用的直接X(jué)射線探測(cè)半導(dǎo)體材料面臨對(duì)X射線吸收弱(硅、非晶硒)、熱穩(wěn)定性差(非晶硒)、造價(jià)高昂(碲化鎘、碲鋅鎘)等問(wèn)題,限制了其推廣應(yīng)用。因此,發(fā)展新型高效半導(dǎo)體光電轉(zhuǎn)換材料是直接X(jué)射線成像探測(cè)器走向應(yīng)用的關(guān)鍵。

近年來(lái),金屬鹵化物鈣鈦礦半導(dǎo)體憑借優(yōu)異的本征性能,如重原子X(jué)光吸收、載流子遷移率高和壽命長(zhǎng)等,在直接X(jué)射線探測(cè)領(lǐng)域備受關(guān)注。鈣鈦礦材料對(duì)X射線的探測(cè)靈敏度可達(dá)100000 μC Gyair?1cm?2,優(yōu)于商用的硅、非晶硒、碲鋅鎘。研究顯示,通過(guò)簡(jiǎn)單等靜壓方法制備的鈣鈦礦晶片,尺寸和厚度可控,適用于直接X(jué)射線檢測(cè)。然而,鈣鈦礦晶片面臨晶體生長(zhǎng)不完全、電荷缺陷密度高的問(wèn)題,影響X射線探測(cè)器的效率和工作穩(wěn)定性。

本研究從提升鈣鈦礦結(jié)晶度、降低鈣鈦礦晶片缺陷密度出發(fā),創(chuàng)新性地開(kāi)發(fā)了PbI2-DMSO固體添加劑,促進(jìn)了厚鈣鈦礦晶片的原位再生長(zhǎng),提高了材料的結(jié)晶度,降低了缺陷密度,提高了載流子遷移率和壽命。該研究通過(guò)減緩鈣鈦礦的結(jié)晶過(guò)程,降低成核密度形成連續(xù)的大晶粒鈣鈦礦晶片,進(jìn)一步促進(jìn)器件表面晶界融合、提高電荷傳輸性能,從而獲得高效鈣鈦礦直接X(jué)射線探測(cè)器。探測(cè)器靈敏度可達(dá)1.58×10?μC Gyair?1cm?2,最低可探測(cè)劑量可達(dá)410 nGyair s?1,同時(shí),采用平面掃描的方式,實(shí)現(xiàn)了高清X(qián)射線探測(cè)成像。該工作為鈣鈦礦材料開(kāi)拓了新的應(yīng)用方向,并為高質(zhì)量鈣鈦礦晶片的制備提供了有效策略,頗具科學(xué)價(jià)值和應(yīng)用價(jià)值。

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原位生長(zhǎng)鈣鈦礦晶片用于高靈敏直接X(jué)射線探測(cè)

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X射線探測(cè)掃描成像

研究工作得到國(guó)家自然科學(xué)基金重點(diǎn)項(xiàng)目、國(guó)家自然科學(xué)基金青年科學(xué)基金項(xiàng)目、中科院青年創(chuàng)新促進(jìn)會(huì)、深圳市等的支持。

審核編輯:郭婷

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原文標(biāo)題:原位生長(zhǎng)鈣鈦礦晶片實(shí)現(xiàn)低劑量直接X(jué)射線探測(cè)成像

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