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9.5.12 光敏聚酰亞胺PSPI∈《集成電路產(chǎn)業(yè)全書》

深圳市致知行科技有限公司 ? 2022-02-18 10:11 ? 次閱讀
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Photosensitive Polyimid

撰稿人:中國科學(xué)院化學(xué)研究所 楊士勇

審稿人:復(fù)旦大學(xué) 鄧海

9.5 光掩模和光刻膠材料

第9章 集成電路專用材料

《集成電路產(chǎn)業(yè)全書》下冊

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