三星明年起擬在芯片制造中利用回收氖氣
據(jù)報(bào)道，受俄烏局勢沖擊，氖氣價(jià)格飛漲，以韓國為例，2021年其進(jìn)口價(jià)為每升58美元，但2022年已猛增至每升1612美元，漲勢驚人。目前，三星透露計(jì)劃在芯片制造中引入回收的氖氣，此舉有望開創(chuàng)業(yè)界新標(biāo)桿。
據(jù)韓國《朝鮮經(jīng)濟(jì)日?qǐng)?bào)》披露，預(yù)計(jì)明年起，三星將在芯片生產(chǎn)環(huán)節(jié)啟用回收氖氣，成為全球率先采用該方法的企業(yè)。據(jù)悉，三星已經(jīng)聯(lián)合當(dāng)?shù)匾患也牧瞎狙邪l(fā)設(shè)備，以便從激光廢料流中提取氖氣，然后進(jìn)行提純處理，再投入使用。
預(yù)計(jì)，明年開始，三星將在光刻環(huán)節(jié)大規(guī)模使用回收氖氣，比例占據(jù)75%。韓國海關(guān)總署提供的數(shù)據(jù)顯示，2023年韓國氖氣進(jìn)口總量預(yù)計(jì)達(dá)102782升，進(jìn)口總額預(yù)期超過1680萬美元（約合人民幣1.21億元）。
氖氣作為稀罕的惰性氣體，卻是光刻工藝的必備原料，常被用于生成激光和轉(zhuǎn)移電路圖案，還廣泛運(yùn)用于半導(dǎo)體和顯示屏等領(lǐng)域。
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