MEMS 傳感器膜片翹曲、厚薄差、殘余應(yīng)力形變檢測(cè)，白光干涉儀測(cè)量

MEMS傳感器憑借微型化、高靈敏度與集成化優(yōu)勢(shì)，廣泛應(yīng)用于工業(yè)測(cè)控、智能傳感、汽車(chē)電子及航空航天等諸多核心領(lǐng)域。傳感器核心感應(yīng)膜片作為功能承載關(guān)鍵結(jié)構(gòu)，其制備加工過(guò)程中產(chǎn)生的膜片整體翹曲形變、本體厚薄均勻度偏差及工藝殘余應(yīng)力誘發(fā)的微形變，是直接影響傳感器測(cè)量精度、工作穩(wěn)定性及長(zhǎng)期服役壽命的核心關(guān)鍵指標(biāo)。MEMS膜片屬于微納薄壁精密結(jié)構(gòu)，材質(zhì)脆弱、形變尺度微小，傳統(tǒng)接觸式檢測(cè)方式易造成膜片表面損傷與形變二次干擾，常規(guī)二維顯微檢測(cè)僅能觀測(cè)表面外觀形貌，無(wú)法精準(zhǔn)量化三維翹曲度、全域厚薄差值及殘余應(yīng)力對(duì)應(yīng)的微觀形變分布，檢測(cè)數(shù)據(jù)精度不足、參數(shù)檢測(cè)單一，難以匹配MEMS傳感器精密制造與品質(zhì)質(zhì)控的嚴(yán)苛檢測(cè)要求。

白光干涉儀依托低相干三維干涉測(cè)量核心原理，具備納米級(jí)超高垂直分辨率與微米級(jí)橫向測(cè)量精度，采用非接觸無(wú)損檢測(cè)模式，可完美適配MEMS傳感器薄壁膜片精密檢測(cè)工況。設(shè)備無(wú)需復(fù)雜樣品預(yù)處理，可快速完成傳感器膜片全域三維形貌數(shù)據(jù)高速采集與精準(zhǔn)重構(gòu)，依托配套專(zhuān)業(yè)數(shù)據(jù)分析算法，自動(dòng)精準(zhǔn)測(cè)算膜片整體翹曲變形量、多點(diǎn)位厚薄差值分布，同步擬合解析加工殘余應(yīng)力引發(fā)的微觀形變梯度與形變分布規(guī)律，一站式完成多項(xiàng)核心缺陷與關(guān)鍵參數(shù)同步檢測(cè)。該測(cè)量方式規(guī)避了傳統(tǒng)多設(shè)備分次檢測(cè)的數(shù)據(jù)累積誤差，檢測(cè)流程高效便捷，測(cè)量數(shù)據(jù)重復(fù)性與穩(wěn)定性?xún)?yōu)異，既可滿足實(shí)驗(yàn)室研發(fā)階段樣品精密參數(shù)標(biāo)定，也適配工業(yè)化批量生產(chǎn)過(guò)程中的快速抽檢與全制程質(zhì)控檢測(cè)需求，全方位保障MEMS傳感器量產(chǎn)加工一致性與器件工作性能可靠性。新啟航 專(zhuān)業(yè)提供綜合光學(xué)3D測(cè)量方案

大視野3D白光干涉儀——MEMS傳感器納米級(jí)測(cè)量全域解決方案

突破傳統(tǒng)測(cè)量局限，定義MEMS傳感器檢測(cè)新范式！大視野3D白光干涉儀依托核心創(chuàng)新技術(shù)，一機(jī)解鎖納米級(jí)全場(chǎng)景測(cè)量，以高效與精密兼具的優(yōu)勢(shì)，適配MEMS傳感器全流程檢測(cè)，重新詮釋工業(yè)精密測(cè)量的核心標(biāo)準(zhǔn)。

核心優(yōu)勢(shì)：大視野+高精度，打破行業(yè)壁壘

打破行業(yè)常規(guī)局限，徹底解決傳統(tǒng)設(shè)備1倍以下物鏡僅能單孔使用、需兩臺(tái)儀器分別實(shí)現(xiàn)大視野觀測(cè)與高精度測(cè)量的痛點(diǎn)。本設(shè)備搭載全新0.6倍輕量化鏡頭，配備15mm超大單幅視野，搭配可兼容4個(gè)物鏡的轉(zhuǎn)塔鼻輪，一臺(tái)設(shè)備即可全面覆蓋大視野觀測(cè)與高精度測(cè)量需求，高效適配MEMS傳感器復(fù)雜樣品檢測(cè)場(chǎng)景，無(wú)需頻繁切換設(shè)備，大幅提升檢測(cè)效率與數(shù)據(jù)精準(zhǔn)度。

MEMS傳感器實(shí)測(cè)應(yīng)用圖示

（以上為新啟航實(shí)測(cè)MEMS壓力傳感器芯片全景圖，可清晰呈現(xiàn)芯片整體形貌，精準(zhǔn)捕捉全域細(xì)節(jié)，為芯片外觀及整體尺寸檢測(cè)提供可靠支撐）

（圖為新啟航MEMS梳齒狀結(jié)構(gòu)圖，可精準(zhǔn)還原梳齒微觀形態(tài)，助力梳齒間距、尺寸精度等關(guān)鍵參數(shù)的精準(zhǔn)檢測(cè)，保障MEMS器件性能穩(wěn)定性）

新啟航半導(dǎo)體——專(zhuān)業(yè)提供綜合光學(xué)3D測(cè)量解決方案，深耕MEMS傳感器檢測(cè)領(lǐng)域，助力產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展！

審核編輯 黃宇