納芯微(含原麥歌恩 MagnTek)TMR/AMR 磁編碼器是工業(yè)控制與伺服電機領(lǐng)域主流的單芯片絕對式角度檢測方案,核心基于各向異性磁阻(AMR)與隧道磁阻(TMR)兩大磁敏技術(shù),采用 “傳感層→模擬信號鏈→數(shù)字運算層→接口驅(qū)動層” 四層全集成架構(gòu),無需外部調(diào)理電路,單顆芯片完成磁場采集到角度輸出全流程,具備高集成度、高抗干擾、寬溫穩(wěn)定、絕對式測量等優(yōu)勢,廣泛應(yīng)用于伺服電機、BLDC 電機、工業(yè)自動化、汽車電子等場景。本文從物理機理、芯片架構(gòu)、信號鏈路、解碼算法、校準(zhǔn)機制及典型型號對比六大維度,逐層拆解其內(nèi)部架構(gòu)與工作原理,為工程應(yīng)用提供技術(shù)參考。
一、核心傳感機理:AMR 與 TMR 磁電轉(zhuǎn)換原理
納芯微磁編碼器的本質(zhì)是將旋轉(zhuǎn)永磁體的磁場方向變化精準(zhǔn)轉(zhuǎn)換為電信號,再通過數(shù)字信號處理解算為絕對角度。AMR 與 TMR 作為兩種核心磁敏技術(shù),物理機理不同,直接決定編碼器的精度、靈敏度與成本梯度。
1.1 各向異性磁阻(AMR)傳感原理
1.1.1 物理效應(yīng)基礎(chǔ)
AMR 基于鐵磁材料(如坡莫合金 NiFe)的各向異性磁阻效應(yīng):材料的電阻率隨電流方向與磁化方向的夾角 θ變化而改變,且在 ** 磁飽和區(qū)(30~1000mT)** 僅對平行于芯片表面的磁場方向敏感,與磁場強度無關(guān),對 Z 軸雜散磁場天然免疫。
核心規(guī)律:
電流與磁化方向平行時,電阻最大;
電流與磁化方向垂直時,電阻最??;
磁阻變化率約2%~5%,溫漂中等。
單電阻模型:
(R(theta)=R_0+Delta Rcdotcos^2theta)
其中,(R_0)為零場基準(zhǔn)電阻,(Delta R)為最大磁阻變化,(theta)為磁場與電流夾角。
1.1.2 工程化實現(xiàn):正交惠斯通電橋陣列
納芯微 AMR 磁編碼器(如 MT6826S/MT6835)在芯片晶圓級集成4 片互成 45° 的 NiFe AMR 惠斯通電橋,敏感單元間距<50μm,確保陣列一致性;兩組電橋空間正交布置(相位差 90° 電氣角度),構(gòu)成 SIN/COS 正交差分檢測鏈路。
SIN 電橋:拾取磁場變化生成正弦信號(V_{SIN}=Acdotsintheta);
COS 電橋:物理布局偏移 90°,生成余弦信號(V_{COS}=Acdotcostheta)。
1.1.3 信號特性與優(yōu)勢
輸出:mV 級差分正交 SIN/COS 信號(幅值 20~100mV);
共模抑制比(CMRR):>90dB,抑制共模干擾能力強;
適配氣隙:0.5~3mm,抗振動、耐油污;
溫漂:-40℃~125℃寬溫穩(wěn)定;
核心優(yōu)勢:僅對磁場方向敏感,與強度無關(guān),降低裝配公差要求,提升系統(tǒng)一致性。
1.2 隧道磁阻(TMR)傳感原理
1.2.1 物理效應(yīng)基礎(chǔ)
TMR 基于磁隧道結(jié)(MTJ)量子隧穿效應(yīng),核心為 “鐵磁釘扎層 + 1~2nm 超薄絕緣勢壘(MgO) + 鐵磁自由層” 的三層薄膜結(jié)構(gòu)。
釘扎層:磁化方向固定,提供參考磁場;
自由層:磁化方向隨外部旋轉(zhuǎn)磁場同步偏轉(zhuǎn);
勢壘層:1~2nm MgO 絕緣層,電子以量子隧穿方式通過。
核心規(guī)律:
兩鐵磁層磁化方向平行時,隧穿電阻最小;
兩鐵磁層磁化方向反平行時,隧穿電阻最大;
磁阻變化率可達100%~200%,遠超 AMR,信號幅值更高、溫漂更小、噪聲更低。
1.2.2 工程化實現(xiàn):TMR 正交電橋陣列
納芯微 TMR 磁編碼器(如 MT6837)集成兩對正交 TMR 電橋陣列,替代 AMR 坡莫合金薄膜;自由層隨旋轉(zhuǎn)磁場同步偏轉(zhuǎn),隧穿電阻劇烈變化,輸出高幅值正交差分 SIN/COS 信號,信噪比(SNR)顯著提升。
1.2.3 信號特性與優(yōu)勢
輸出:高幅值差分正交信號(可達數(shù)百 mV);
磁阻變化率:100%~200%,靈敏度高;
溫漂:遠低于 AMR,寬溫穩(wěn)定性更優(yōu);
噪聲:低噪聲特性,適合超高精度與高速工況;
適配場景:伺服電機、工業(yè)機器人、高精度自動化設(shè)備。
1.3 AMR 與 TMR 核心參數(shù)對比
| 參數(shù) | AMR(如 MT6826S/MT6835) | TMR(如 MT6837) |
| 磁阻變化率 | 2%~5% | 100%~200% |
| 信號幅值 | 20~100mV | 數(shù)百 mV |
| 溫漂特性 | 中等 | 優(yōu)異 |
| 信噪比(SNR) | 良好 | 優(yōu)異 |
| 成本 | 可控 | 較高 |
| 典型精度 | 15~21 位 | 21~23 位 |
| 適配場景 | 通用高精度、成本敏感 | 超高精度、高速、惡劣環(huán)境 |
二、單芯片四層全集成架構(gòu)
納芯微 TMR/AMR 磁編碼器采用統(tǒng)一的四層全集成架構(gòu),無需外部運放、濾波等元件,實現(xiàn) “磁信號→電信號→數(shù)字角度” 全鏈路處理,典型芯片(如 MT6835/MT6826S)功能框圖如下:
2.1 整體架構(gòu)鏈路
徑向充磁永磁體 → 正交磁敏電橋(AMR/TMR) → 模擬前端(AFE) → 高精度同步 ADC → DSP 預(yù)處理 → 硬件 CORDIC 引擎 → 多級校準(zhǔn)補償 → 多格式輸出(SPI/ABZ/UVW/PWM)。
2.2 逐層功能拆解
2.2.1 第一層:傳感層(磁敏單元陣列)
核心:正交 AMR/TMR 惠斯通電橋陣列(4 片互成 45°);
功能:將旋轉(zhuǎn)磁場角度 θ 轉(zhuǎn)換為兩路正交差分 SIN/COS 電壓信號;
關(guān)鍵設(shè)計:內(nèi)置Set/Reset 線圈,通過脈沖電流消除磁滯與失調(diào),提升長期穩(wěn)定性;電橋全對稱差分結(jié)構(gòu),CMRR>90dB,抑制共模干擾、溫漂與雜散磁場影響。
2.2.2 第二層:模擬信號鏈層(AFE)
由低噪聲差分放大器、可編程增益放大器(PGA)、自動增益控制(AGC)、抗混疊低通濾波器(AAF)、斬波穩(wěn)零電路組成,核心功能是放大微弱信號、抑制噪聲、校準(zhǔn)失調(diào),為 ADC 提供高質(zhì)量模擬輸入。
低噪聲放大器(LNA):將 mV 級差分信號放大至 ADC 滿量程,噪聲系數(shù)低;
可編程增益放大器(PGA):適配不同磁場強度(20~100mT),增益可調(diào);
自動增益控制(AGC):自動穩(wěn)定信號幅值,抑制氣隙波動與磁場強度變化影響;
抗混疊低通濾波器(AAF):抑制高頻噪聲,帶寬可編程(100kHz~1MHz),防止 ADC 采樣混疊;
斬波穩(wěn)零電路:消除運放失調(diào)電壓與溫漂,提升小信號檢測精度。
2.2.3 第三層:數(shù)字運算層(DSP+CORDIC + 校準(zhǔn)模塊)
核心為高精度同步 ADC、專用 DSP、硬件 CORDIC 引擎、多級校準(zhǔn)補償模塊,完成信號數(shù)字化、預(yù)處理、角度解算與誤差補償。
高精度同步 ADC:15~23 位 SAR 型 ADC,同步采樣 SIN/COS 兩路信號,確保相位嚴(yán)格正交,采樣速率最高可達 1MHz,適配高速旋轉(zhuǎn)場景。
DSP 預(yù)處理:數(shù)字濾波(FIR/IIR)、信號歸一化、正交性校正、幅值平衡,進一步抑制噪聲與干擾,優(yōu)化信號質(zhì)量。
硬件 CORDIC 引擎:核心解算單元,通過坐標(biāo)旋轉(zhuǎn)數(shù)字計算機(CORDIC)算法,將正交 SIN/COS 信號快速解算為絕對角度 θ=arctan (SIN/COS),延遲<1μs,硬件加速確保實時性。
多級校準(zhǔn)補償模塊:內(nèi)置 MTP/EEPROM 存儲校準(zhǔn)參數(shù),支持出廠自動校準(zhǔn)與現(xiàn)場自校準(zhǔn),補償偏心誤差、非線性誤差、溫漂誤差、正交性誤差、幅值不平衡誤差,確保全溫域(-40℃~125℃)與全角度范圍(0°~360°)高精度輸出。
2.2.4 第四層:接口驅(qū)動層(多格式輸出)
集成SPI、ABZ 增量、UVW 霍爾模擬、PWM、DAC等多種輸出接口,適配不同控制器與電機驅(qū)動需求,無需外部接口芯片。
SPI:高速高精度絕對角度輸出,支持多芯片級聯(lián);
ABZ:增量式脈沖輸出,兼容傳統(tǒng)光電編碼器接口;
UVW:霍爾信號模擬輸出,適配 BLDC 電機換相;
PWM:占空比表示絕對角度,簡化低速場景接口;
DAC:模擬電壓輸出,適配模擬控制系統(tǒng)。
三、絕對角度檢測工作全流程拆解
3.1 系統(tǒng)安裝與磁場建立
永磁體:安裝于電機轉(zhuǎn)軸末端,徑向一對極充磁(N35~N52 釹鐵硼),提供空間均勻平面磁場,磁場方向隨轉(zhuǎn)軸同步旋轉(zhuǎn);
芯片固定:單芯片編碼器固定于電機端蓋或側(cè)面,與永磁體保持0.5~3mm 氣隙,非接觸感知磁場方向變化。
3.2 磁場→電阻→電壓轉(zhuǎn)換(傳感層)
永磁體旋轉(zhuǎn)時,芯片平面內(nèi)(X/Y 軸)磁場方向 θ 連續(xù)變化,AMR/TMR 電橋中各電阻的阻值隨 θ 周期性改變;惠斯通電橋?qū)㈦娮枳兓D(zhuǎn)化為差分電壓輸出,SIN/COS 電橋分別輸出相位差 90° 的正交差分信號:
(V_{SIN}=Acdotsintheta)
(V_{COS}=Acdotcostheta)
旋轉(zhuǎn)一周(360°),輸出完整、無跳變、無盲區(qū)的正交信號,實現(xiàn)全角度絕對位置檢測。
3.3 模擬信號調(diào)理(AFE 層)
mV 級微弱正交信號經(jīng) LNA 放大、PGA 增益適配、AGC 幅值穩(wěn)定、AAF 低通濾波、斬波穩(wěn)零后,轉(zhuǎn)換為穩(wěn)定、低噪聲、滿量程的差分模擬信號,送入 ADC 采樣。
3.4 數(shù)字采樣與預(yù)處理(DSP 層)
同步 ADC 對 SIN/COS 信號數(shù)字化后,DSP 進行數(shù)字濾波、歸一化、正交性校正、幅值平衡,消除噪聲與誤差,優(yōu)化信號質(zhì)量。
3.5 硬件 CORDIC 角度解算
預(yù)處理后的正交信號送入硬件 CORDIC 引擎,通過迭代運算快速計算絕對角度:
(theta=arctanleft(frac{V_{SIN}}{V_{COS}}right))
輸出 0°~360° 無盲區(qū)絕對角度,分辨率可達 21~23 位(TMR)/15~21 位(AMR)。
3.6 多級校準(zhǔn)補償
校準(zhǔn)模塊讀取 MTP/EEPROM 中存儲的校準(zhǔn)參數(shù),對解算角度進行偏心補償、非線性補償、溫漂補償、正交性補償、幅值平衡補償,修正安裝誤差、器件誤差與環(huán)境誤差,確保全溫域與全角度范圍高精度輸出。
3.7 多格式數(shù)字輸出
補償后的絕對角度數(shù)據(jù)通過 SPI/ABZ/UVW/PWM/DAC 等接口輸出至控制器,完成 “磁場旋轉(zhuǎn)→絕對角度” 的全流程檢測。
四、核心關(guān)鍵技術(shù):校準(zhǔn)機制與誤差補償
4.1 主要誤差來源
機械誤差:永磁體偏心、氣隙不均勻、安裝傾斜;
器件誤差:電橋非線性、正交性偏差、幅值不平衡、溫漂;
環(huán)境誤差:溫度變化、振動、雜散磁場干擾。
4.2 多級校準(zhǔn)補償技術(shù)
出廠自動校準(zhǔn):芯片出廠前通過 ATE 設(shè)備完成全角度(0°~360°)與全溫域(-40℃~125℃)校準(zhǔn),測量并存儲偏心、非線性、正交性、幅值平衡、溫漂等誤差參數(shù)至 MTP/EEPROM。
現(xiàn)場自校準(zhǔn):用戶安裝后,通過使能腳觸發(fā)芯片自校準(zhǔn)(如 MT6835),電機勻速旋轉(zhuǎn)時,芯片自動采集全角度信號,計算并修正安裝偏心誤差,校準(zhǔn)狀態(tài)通過 PWM 占空比反饋(50%= 校準(zhǔn)中,99%= 成功,25%= 失?。?。
實時動態(tài)補償:DSP 實時讀取溫度傳感器數(shù)據(jù),結(jié)合溫漂校準(zhǔn)參數(shù),動態(tài)補償溫度變化引起的誤差;同時實時校正正交性與幅值平衡誤差,確保動態(tài)精度。
五、典型型號技術(shù)對比(AMR vs TMR)
5.1 AMR 系列(MT6826S/MT6835)
MT6826S:15 位絕對角度,SPI/ABZ/PWM 輸出,成本低,適配通用伺服、BLDC 電機;
MT6835:21 位絕對角度,SPI/ABZ/UVW/PWM 輸出,精度更高,適配中高端伺服、工業(yè)自動化。
5.2 TMR 系列(MT6837)
MT6837:23 位絕對角度,TMR 技術(shù),磁阻變化率 100%~200%,溫漂極小,信噪比優(yōu)異,適配超高精度伺服、工業(yè)機器人、汽車電子(EPS/ESP)。
六、總結(jié)與工程應(yīng)用價值
納芯微 TMR/AMR 磁編碼器通過四層全集成架構(gòu)與磁阻效應(yīng)精準(zhǔn)傳感,實現(xiàn)了從磁場方向到絕對角度的單芯片全鏈路處理,核心優(yōu)勢在于:
高集成度:無需外部調(diào)理電路,簡化 BOM 與 PCB 設(shè)計,降低成本;
高抗干擾:全差分信號傳輸、高 CMRR、抗振動耐油污,適配惡劣工業(yè)環(huán)境;
絕對式測量:0°~360° 無盲區(qū)絕對角度輸出,無需回零,上電即讀位置;
寬溫穩(wěn)定:-40℃~125℃寬溫工作,多級溫漂補償,精度穩(wěn)定;
多接口兼容:SPI/ABZ/UVW/PWM/DAC 多格式輸出,適配不同控制器。
在伺服電機、BLDC 電機、工業(yè)自動化、汽車電子等領(lǐng)域,納芯微磁編碼器已成為替代傳統(tǒng)光電編碼器的主流方案,尤其適合高振動、高油污、寬溫、低成本場景,為工業(yè)控制提供了高可靠、高精度的角度檢測解決方案。
審核編輯 黃宇
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納芯微 TMR/AMR 磁編碼器內(nèi)部架構(gòu)及工作原理逐層拆解
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