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標簽 > mems

微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。

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mems資訊

智能MEMS傳感器核心技術突破:精度提升與功耗優(yōu)化方案

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2025-12-30 標簽:傳感器mems 467 0

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2022-08-18 標簽:mems5G 465 0

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4月9日,全國企業(yè)破產(chǎn)案件信息網(wǎng)站發(fā)布《西人馬聯(lián)合測控(泉州)科技有限公司管理人招募重整投資人公告》,西人馬這家陷入破產(chǎn)危機的中國MEMS智能傳感器產(chǎn)業(yè)...

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2026-01-05 標簽:mems 451 0

關于中國半導體行業(yè)協(xié)會 MEMS 分會更名通知

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2026-01-04 標簽:半導體mems 447 0

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