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微機電系統(tǒng)（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。

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MEMS 傳感器膜片平面度、面形 PV/RMS 粗糙度檢測，白光干涉儀方案

引言 MEMS傳感器膜片是壓力傳感、聲學傳感及慣性測量器件的核心感應結(jié)構(gòu)，膜片平面度、面形PV/RMS形貌指標與表面粗糙度直接決定傳感器感應靈敏度、壓力...

2026-05-08 標簽：傳感器 mems 120 0

合肥芯谷微電子推出硅基MEMS濾波器

合肥芯谷微電子近日推出覆蓋10.2GHz至31.4GHz頻段的全系列硅基MEMS帶通濾波器芯片，以“超小尺寸、超低插損、超高抑制、寬溫可靠”四大核心技術...

2026-05-07 標簽：射頻 mems 互聯(lián)網(wǎng) 406 0

雙軸 MEMS 加速度計，解鎖高精度測量新境界

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2026-05-06 標簽：mems 加速度計機械臂 664 0

瑞之辰：如何選擇應用在汽車動力電池上的微型化壓力傳感器

全球汽車產(chǎn)業(yè)電動化轉(zhuǎn)型，動力電池盒體革新從“輕量化”邁向“材料-結(jié)構(gòu)-功能一體化”。此背景下，電池內(nèi)部元器件的微型化、高功能化、集成化及穩(wěn)定性至關重要。...

2026-05-06 標簽：傳感器 mems 壓力傳感器 96 0

導遠科技亮相2026北京國際汽車展覽會

導遠科技新入職的品牌吉祥物「遠寶Yuby」攜多款創(chuàng)新產(chǎn)品與解決方案亮相2026北京國際汽車展覽會，展示公司在高精度時空智能領域的技術積累與最新成果。

2026-05-06 標簽：芯片 mems IMU 625 0

尋北性能新標桿：高性能MEMS陀螺儀讓導航級定位更具性價比

在測井、采礦、無人機發(fā)射、衛(wèi)星天線指向、移動測繪等對方向精度要求嚴苛的應用中，尋北與初始對準是系統(tǒng)的“定海神針”。長久以來，光纖陀螺（FOG）和動力調(diào)諧...

2026-04-30 標簽：mems 陀螺儀 MEMS器件 315 0

猛增202.14%！3年來首次扭虧為盈！中國MEMS芯片第一股業(yè)績出爐！

? ? 4月28日，中國領先的MEMS傳感器公司、“中國MEMS芯片第一股”敏芯股份，發(fā)布2025年度報告，主要財務數(shù)據(jù)有： ? 2025年度，敏芯股份...

2026-04-28 標簽：芯片 mems 177 0

暴增782.99%！華為投資的蘇州MEMS廠商首份財報出爐！市值達560億！

? ? 4月27日，國產(chǎn)領先的MEMS探針卡公司強一股份，發(fā)布其上市后的首份財務數(shù)據(jù)，包括2025年度報告及2026年第一季度報告。主要財務數(shù)據(jù)有： ?...

2026-04-27 標簽：mems 華為 962 0

長航穩(wěn)姿！大型無人機專用高精度MEMS IMU

大型無人機面臨長航遠航、高空亂流、電磁干擾、復雜起降等多重嚴苛工況，對慣性導航傳感器的體積、重量、精度、環(huán)境適應性有著極高要求。ER-MIMU-063 ...

2026-04-21 標簽：mems 無人機 IMU 143 0

MEMS傳感器硬核防護：微爾斯聲學透氣膜，攻克回流焊挑戰(zhàn)！

MEMS（微機電系統(tǒng)）傳感器憑借微型化、低功耗、高靈敏度的核心優(yōu)勢，已廣泛應用于消費電子、車載電子、工業(yè)控制、醫(yī)療健康等多個領域，其內(nèi)部微米級微結(jié)構(gòu)（如...

2026-04-21 標簽：傳感器 mems 微機電系統(tǒng) 885 0

MEMS傳感器為什么如此不可或缺

????????你能想象一個沒有MEMS傳感器的世界嗎？這個問題的答案，藏在我們?nèi)粘５拿恳粋€瞬間里——從抬手看智能手表的運動數(shù)據(jù)，到開車時安全氣囊的及時...

2026-04-20 標簽：傳感器 mems 399 0

告別昂貴與笨重：這款高精度MEMS陀螺儀打破天花板

在慣性導航領域，高性能與低成本、小體積往往難以兼得。傳統(tǒng)光纖陀螺（FOG）或動力調(diào)諧陀螺（DTG）雖然精度達標，但價格昂貴、體積偏大；而普通MEMS陀螺...

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智芯傳感亮相2026深圳國際傳感器與應用技術展覽會

4月14日，備受行業(yè)矚目的深圳國際傳感器與應用技術展覽會（Sensor Shenzhen 2026）在深圳會展中心盛大啟幕。作為國內(nèi)傳感產(chǎn)業(yè)風向標，本屆...

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漢威科技重磅亮相2026深圳傳感器展

4月14日，漢威科技集團重磅亮相深圳傳感器展，具身智能傳感、氣體傳感、高端溫度傳感芯片、光電傳感四大傳感矩陣及多個傳感應用方案，成矚目焦點！

2026-04-15 標簽：傳感器 mems 漢威科技 434 0

輕薄型MEMS IMU：機器人運動感知的 “輕量化核心引擎”

在機器人技術向小型化、高機動、長續(xù)航演進的今天，傳感器的 “輕量化” 與 “高精度” 不再是取舍，而是核心競爭力。ER-MIMU-103 以僅 47×4...

2026-04-14 標簽：機器人 mems IMU 921 0

數(shù)億元，安徽蕪湖國資，投了一家國產(chǎn)MEMS 10強企業(yè)

近日，據(jù)國產(chǎn)MEMS 10強企業(yè)美新半導體官宣，其獲得安徽蕪湖國資領投的2億元投資，計劃將多年持續(xù)積累的創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)落地蕪湖?！埃ㄊ徍┣捌诘漠a(chǎn)業(yè)生態(tài)布局，...

2026-04-13 標簽：傳感器 mems 287 0

清華大學精密儀器系尤政院士團隊：基于MEMS的超像素分辨成像芯片

編者按近日，清華大學精密儀器系智能微系統(tǒng)團隊尤政院士、邢飛教授課題組提出了一種創(chuàng)新的基于微機電系統(tǒng)（MEMS）的空間調(diào)制成像芯片技術。該研究將數(shù)字...

2026-04-12 標簽：mems 清華大學成像芯片 4.2萬 0

【展會預告】SPEA攜手共進微電子參展2026 Sensor Shenzhen

2026年4月14—16日，SensorShenzhen即將在深圳會展中心（福田）盛大舉行。本屆展會涵蓋晶圓制造、封裝測試、傳感器制造及人工智能應用等環(huán)...

2026-04-10 標簽：傳感器測試 mems 411 0

欠債6.6億元！國產(chǎn)MEMS 10強公司西人馬聯(lián)合測控(泉州)科技有限公司招募重整投資人

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瑞之辰壓力傳感器，為咖啡機廠家優(yōu)化效益賦能升級

在咖啡機制造行業(yè)，從家用的小巧機型到商用的大型設備，每個環(huán)節(jié)都需精準把控，尤其是對零部件的選擇。其中，壓力傳感器雖小，卻在確保咖啡機穩(wěn)定性能、優(yōu)化成本等...

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