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MEMS智能傳感器有助于實現(xiàn)器件的設(shè)計和驗證

lhl545545 ? 來源:電子元件技術(shù)網(wǎng) ? 作者:電子元件技術(shù)網(wǎng) ? 2020-08-04 14:30 ? 次閱讀
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最初在車內(nèi)部署安全氣囊系統(tǒng)時,氣囊通常只配備在駕駛座。汽車制造商很快決定同樣要保護其他乘客,因此在副駕駛座以及后座區(qū)域(某些情況下)安裝了安全氣囊。起初當檢測到碰撞時,安全氣囊總是全力的展開。雖然氣囊系統(tǒng)挽救了不少生命,但很快明顯發(fā)現(xiàn),如果坐在副駕駛座的小孩或嬰兒被牢牢限制于座位上,氣囊?guī)淼膫赡軙^其提供的保護。因此,副駕駛座開始加入能手動關(guān)閉氣囊的設(shè)計。但是,駕駛員可能會忘了做這個必要的動作。而且一旦關(guān)上氣囊,當乘客是成年人時,駕駛員可能會忘了把氣囊打開。加入壓力傳感器系統(tǒng)。

在座椅上加入壓力傳感器系統(tǒng)后,整個氣囊系統(tǒng)通過監(jiān)控副駕駛座椅上的重量來判斷是否關(guān)閉系統(tǒng)。這樣的做法毋庸置疑,但是制造商很快發(fā)現(xiàn),對于不同的重量,他們需要使用不同的力道來展開安全氣囊。而且,座位上的重量來源可能只是一袋雜貨。下一步是在展開安全氣囊前先了解乘客的姿勢。例如,如果乘客向儀表板傾斜,則安全氣囊應(yīng)以較小的力道展開。有很多方法可以做到這一點。有些公司提供壓力傳感器織物,該織物可以墊在座椅上并判斷出乘客的姿勢,甚至能分辨兒童座椅和真人。有些公司則提供能感應(yīng)乘坐壓力和乘坐位置的座位氣囊。有些公司提供結(jié)合紅外攝像機(因為必須在黑暗中工作)的座位傳感器,能識別出身體的姿態(tài)。

隨著時間的推移,壓力傳感器系統(tǒng)的電子器件,被集成至含有處理器的 IC 中,成本和尺寸都獲得縮減。汽車公司現(xiàn)在可以提供一個連接到安全氣囊裝置的完整系統(tǒng)。雖然自動駕駛汽車已不再需要駕駛座安全氣囊系統(tǒng),但無庸置疑的是,還是需要盡可能在撞車時為乘客提供保護。

了解智能傳感器系統(tǒng)

基本傳感器系統(tǒng)包含一個可從外部模擬世界收集數(shù)據(jù)的傳感設(shè)備。當進行完信號處理(例如放大、濾波或清除),會將生成的模擬數(shù)據(jù)發(fā)送到車內(nèi)的另一個系統(tǒng)。

智能傳感器系統(tǒng)增加了模數(shù)電路(A-D),可為運行軟件的處理器提供信號,以便分析信號并做出決策(圖 1)。有了處理器和軟件,該系統(tǒng)便實現(xiàn)了智能化。然后,數(shù)字信號通常會連接到車內(nèi)的汽車網(wǎng)絡(luò)系統(tǒng),其中傳感器數(shù)據(jù)會進一步作為另一個系統(tǒng)的輸入。

圖 1:比較基本傳感器系統(tǒng)與智能傳感器系統(tǒng)。

以我們的智能安全氣囊為例,智能壓力傳感器系統(tǒng)會實時收集有關(guān)乘客的數(shù)據(jù),并使用嵌入式處理器上運行的軟件對其進行分析。如果由于乘客狀況的變化需要向安全氣囊系統(tǒng)發(fā)送新警報,則智能傳感器系統(tǒng)會通過汽車網(wǎng)絡(luò)發(fā)送該警報。安全氣囊系統(tǒng)會針對該警報打開或關(guān)閉安全氣囊,或者修改充氣設(shè)置來增加或減小安全氣囊展開力道。

最后,為汽車市場開發(fā)智能傳感器系統(tǒng)的各家公司通常會以定制 IC 為目標,進而降低成本、尺寸和功耗。智能傳感器的典型特征是,傳感設(shè)備使用 MEMS 來實現(xiàn),而其余電路則是采用以 CMOS 技術(shù)實現(xiàn)的模擬/混合信號 (AMS) 設(shè)計。

銜接多個領(lǐng)域

從小型團隊到大型公司,設(shè)計人員通過開發(fā)定制 IC,將新穎的智能傳感器創(chuàng)意推向巿場。這些設(shè)計人員,正在重塑用以支持智能傳感器系統(tǒng)的設(shè)計流程,他們心中懷有新的期望。他們通常在小型團隊工作,需要集成的設(shè)計流程,以便在盡可能減少開支的同時快速、輕松地開發(fā)可正常使用的器件。他們必須能夠開發(fā)適用系統(tǒng)驗證的概念驗證,才能利用汽車市場的巨大商機。設(shè)計團隊需要使用集成式設(shè)計流程快速實現(xiàn)產(chǎn)品,從而快速開發(fā)出智能傳感器系統(tǒng)所需的全部部件,包括:傳感元件、模擬電路接口、模數(shù)轉(zhuǎn)換邏輯和數(shù)字邏輯,而且所有部件的成本比傳統(tǒng) IC 和系統(tǒng)設(shè)計更低。

許多設(shè)計團隊紛紛采用 Tanner 的集成式 IC 設(shè)計和驗證解決方案來創(chuàng)建智能傳感器系統(tǒng)。原因何在? 創(chuàng)建智能傳感器系統(tǒng)會涉及多個設(shè)計領(lǐng)域,因此極具挑戰(zhàn)性。但是,在同一硅片(圖 2)上創(chuàng)建一個既有采用傳統(tǒng) CMOS IC 流程制作的電子器件,又有 MEMS 傳感器的系統(tǒng)似乎并不現(xiàn)實。實際上,許多此類系統(tǒng)會在單個封裝中集成多個芯片,將電子器件與 MEMS 設(shè)計分開。

圖 2:CMOS 版圖上的 MEMS 實例(來源:MEMSIC)。

Tanner AMS IC 設(shè)計流程(圖 3)支持單芯片或多芯片技術(shù),因而有助于成功實現(xiàn)器件的設(shè)計和驗證。

MEMS智能傳感器有助于實現(xiàn)器件的設(shè)計和驗證

圖 3:銜接了 AMS 和 MEMS 設(shè)計的自上而下 Tanner 設(shè)計流程。

在單個芯片上設(shè)計電子器件和 MEMS 涉及到如下有趣之處(參見圖 2):

? 電路圖可以包含 IC 和 MEMS 器件。IC 器件使用 SPICE 模型進行建模,而 MEMS 器件則采用可直接在物理領(lǐng)域(如機械、靜電、流體和磁)建模的行為模型(圖 4)。

MEMS智能傳感器有助于實現(xiàn)器件的設(shè)計和驗證

圖 4:電子器件和 MEMS 位于同一電路圖上。

為了支持初始 MEMS/IC 仿真,設(shè)計人員可以使用 System Model Builder 以及 SPICE 或 Verilog-A 中的解析方程來創(chuàng)建 MEMS 模型。結(jié)合 MEMS 仿真庫,設(shè)計人員就可以在初始階段就對整個設(shè)計是否符合預(yù)期予以驗證。

利用 MEMS PCell 庫,設(shè)計人員可以進行版圖設(shè)計。此外,Library Palette(圖 5)提供了許多 MEMS 器件的基本版圖生成器,您可以將其用作設(shè)計的初始模型。

MEMS智能傳感器有助于實現(xiàn)器件的設(shè)計和驗證

圖 5:用于創(chuàng)建 MEMS 器件版圖的 Library Palette。

? 然后,設(shè)計人員可以生成一個三維幾何模型,以便進行查看、虛擬原型開發(fā),以及導(dǎo)出到有限元分析 (FEA) 工具。

? Compact Model Builder 采用的是降階建模技術(shù),利用該工具,設(shè)計人員可以根據(jù) FEA 結(jié)果創(chuàng)建行為模型,并將其用于最終系統(tǒng)級仿真中。

傳統(tǒng)上,系統(tǒng)設(shè)計的 MEMS 部分從創(chuàng)建 MEMS 器件的三維模型開始,然后在第三方 FEA 工具中分析其物理特性,直到獲得滿意的結(jié)果。但是,設(shè)計人員需要二維掩膜才能制造 MEMS 器件。他們?nèi)绾螐娜S模型中衍生出二維掩膜呢?他們遵循圖 6 所示的 Tanner 以版圖為導(dǎo)向的流程,由于三維實體模型是由版圖和工藝步驟結(jié)合生成的,因此在器件制造過程中的每一步都是可視的,從而降低出錯的風(fēng)險。

圖 6:以版圖為導(dǎo)向的 MEMS 設(shè)計流程。

從 L-Edit 的二維掩膜版圖開始創(chuàng)建器件。然后,3D Solid Modeler 會利用這些版圖和一系列的三維制造工藝步驟,自動生成器件的三維實體模型。導(dǎo)出該三維模型并使用您喜歡的 FEA 工具進行三維分析,如發(fā)現(xiàn)任何問題,可以進行迭代。對二維掩膜版圖進行適當?shù)男薷?,然后重?fù)流程。通過這個以版圖為導(dǎo)向的設(shè)計流程,設(shè)計人員可以將精力集中在一個可以工作的 MEMS 器件上,因為他們直接設(shè)計用于生產(chǎn)制造的版圖,而不是從三維模型進行逆向工作。

增加價值

設(shè)計人員使用 Tanner 定制 IC 流程將 MEMS 傳感器集成到電子智能傳感器系統(tǒng)中。但諷刺的是,將整個系統(tǒng)置于 IC 上將卻導(dǎo)致價格降低。因此,團隊正在尋找創(chuàng)造更高利潤系統(tǒng)的方法。其中一種方法是傳感器融合:開發(fā)一個包含多個傳感器的系統(tǒng),從而創(chuàng)造具有更高價值的產(chǎn)品。

以我們的壓力傳感器系統(tǒng)為例,設(shè)計人員可使用陀螺儀傳感器將即將發(fā)生的翻車解決方案加入 IC 中,通過陀螺儀傳感器將訊號傳送至安全帶系統(tǒng),以便在發(fā)生事故時自動收緊安全帶。此外,團隊可以加入一個加速計傳感器,這有助于在不依賴乘客姿勢的條件下計算出安全氣囊展開力道。通過在系統(tǒng)中融合三種傳感器并加入軟件實現(xiàn)智能化,公司就能以更高的價格將這個多維度的解決方案提供給汽車制造商。

重點回顧

閱讀到有關(guān)自動駕駛的奇特系統(tǒng)雖然令人感到興奮,但其實單一用途的智能傳感器系統(tǒng),才是真正實現(xiàn)自動駕駛的關(guān)鍵。這些系統(tǒng)通常采用在業(yè)界使用多年的專用傳感器。創(chuàng)建智能傳感器系統(tǒng)會涉及多個設(shè)計領(lǐng)域(模擬、數(shù)字、MEMS 和潛在 RF),因此極具挑戰(zhàn)性。設(shè)計團隊紛紛采用 Tanner 的集成式 IC 設(shè)計和驗證解決方案來創(chuàng)建智能傳感器系統(tǒng),因為它是一個可用于銜接這些設(shè)計領(lǐng)域的完整解決方案,從而可以成功實現(xiàn)產(chǎn)品開發(fā)。
責(zé)任編輯:pj

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