半導(dǎo)體是指常溫下介于導(dǎo)體和絕緣體之間具有導(dǎo)電性的材料。半導(dǎo)體的可控導(dǎo)電性使其在科學(xué)、技術(shù)和經(jīng)濟(jì)中發(fā)揮著非常重要的作用。半導(dǎo)體行業(yè)最上游是硅片制造，硅片行業(yè)實(shí)際上是由“硅的初步提純、多晶硅制造、硅晶圓的制造”三個(gè)子行業(yè)組成的。

而真空設(shè)備又廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)。在工業(yè)生產(chǎn)中，真空主要用于減少工作空間的空氣，保持工作空間的清潔。真空設(shè)備的使用是要遵循生產(chǎn)要求的，半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)中使用真空設(shè)備，使得員工工作區(qū)域的噪聲水平大大降低，以滿足半導(dǎo)體行業(yè)的技術(shù)要求。

因?yàn)樵?a target="_blank">半導(dǎo)體制造行業(yè)，除了超凈環(huán)境外，有些加工環(huán)節(jié)必須在真空環(huán)境下進(jìn)行。大氣中充滿了氮?dú)狻⒀鯕夂推渌麣怏w分子，它們一直在運(yùn)動(dòng)。當(dāng)這些氣體分子移動(dòng)到物體表面時(shí)，其中一些會(huì)附著在物體表面。雖然這對(duì)我們的日常生活不會(huì)有太大影響，但是這些細(xì)微的變化會(huì)給半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)帶來(lái)各種麻煩。

通常，半導(dǎo)體器件包含各種材料，如果氣體分子混合在這些不同的材料層之間，器件的電學(xué)或光學(xué)特性就會(huì)受到損害。例如，當(dāng)要在晶體層上外延生長(zhǎng)一層晶體時(shí)，吸附在底部晶體表面的氣體分子會(huì)阻止其上的原子按照晶格結(jié)構(gòu)有序排列，導(dǎo)致外延層中出現(xiàn)大量缺陷。在嚴(yán)重的情況下，晶體不能擴(kuò)展，只能獲得多晶或無(wú)序原子排列的非晶。

因此，為了獲得干凈的晶體表面，通常需要將氣體分子的密度降低到大氣密度的幾億倍，即獲得真空環(huán)境。為此，人們制造了大大小小的密封容器，并發(fā)明了各種真空泵來(lái)將空氣從這些密封容器中抽出，使它們內(nèi)部成為真空環(huán)境。

不過(guò)，半導(dǎo)體行業(yè)中使用的真空設(shè)備是有嚴(yán)格要求的，必須要對(duì)真空度進(jìn)行嚴(yán)格把控。半導(dǎo)體元件真空生產(chǎn)環(huán)境中有嚴(yán)格的真空度標(biāo)準(zhǔn)，只有在標(biāo)準(zhǔn)范圍內(nèi)才能保證元件的生產(chǎn)質(zhì)量，對(duì)于真空度的監(jiān)測(cè)一般使用的是熱導(dǎo)傳感器。熱導(dǎo)傳感器是真空科學(xué)研究和真空測(cè)試技術(shù)的重要檢測(cè)元件。基于皮拉尼原理的熱導(dǎo)傳感器廣泛用于測(cè)量105帕至10-1帕的粗真空。

對(duì)于真空度測(cè)量?jī)x器的選擇，兩款熱導(dǎo)式傳感器，瑞士Neroxis 熱導(dǎo)式氣體傳感器 - MTCS2601和荷蘭Xensor 熱導(dǎo)式氣體傳感器 - XEN-TCG3880。MTCS2601對(duì)安裝位置不敏感，可以使用在串?dāng)_氣體環(huán)境中，與一個(gè)簡(jiǎn)單恒定的溫度電路兼容。XEN-TCG3880適用于10mPa～10KPa 之間的真空度測(cè)量。

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