遼寧證監(jiān)局披露了拓荊科技股份有限公司（以下簡稱“拓荊科技”）輔導備案基本情況表。信息顯示，拓荊科技于2021年1月28日與招商證券簽訂輔導協(xié)議，并于同日進行了輔導備案。

據(jù)官網(wǎng)介紹，拓荊科技成立于2010年4月，是由海外專家團隊和中科院所屬企業(yè)共同發(fā)起成立的國家高新技術企業(yè)，專業(yè)從事高端半導體薄膜設備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與技術服務。

該公司擁有12英寸PECVD（等離子體化學氣相沉積設備）、ALD（原子層薄膜沉積設備）、3D NAND PECVD（三維結構閃存專用PECVD設備）三個完整系列產(chǎn)品，產(chǎn)品廣泛應用于集成電路前道和后道、TSV封裝、光波導、LED、3D-NAND閃存、OLED顯示等高端技術領域。

拓荊科技三次承擔國家“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝科技重大專項（02專項）”。通過多年技術積累，該公司已形成自主知識產(chǎn)權體系，截止到2020年9月底，累計申請專利453項。

根據(jù)官網(wǎng)信息，2017年4月，拓荊科技位于沈陽市渾南區(qū)的新廠正式啟用。新廠占地80畝，總建筑面積4萬平方米，擁有十級、百級、千級潔凈廠房共計2800平方米，一期可實現(xiàn)年產(chǎn)100臺套，二期投產(chǎn)將達到年產(chǎn)350臺套設備的生產(chǎn)能力。

2018年9月，由拓荊科技自主研制的12英寸原子層沉積（ALD）設備FT-300T通過了客戶的驗收。

企查查資料顯示，拓荊科技的前三大股東分別為國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金股份有限公司（26.48%）、國投（上海）科技成果轉化創(chuàng)業(yè)投資基金企業(yè)（有限合伙）（18.23%）、中微半導體設備（上海）股份有限公司（11.2%）。
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