電子發(fā)燒友網(wǎng)報(bào)道（文/劉靜）8月1日，一家專注半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備研發(fā)的企業(yè)，江蘇微導(dǎo)納米科技股份有限公司成功通過上交所上市委的審核，被評定為符合發(fā)行條件、上市條件和信息披露要求。

2015年成立后，微導(dǎo)納米先后完成了7輪融資，投資方有高瓴資本、中芯聚源、毅達(dá)資本、君聯(lián)資本等知名投資機(jī)構(gòu)，國際電池巨頭寧德時(shí)代也有參與，雖然交易金額尚未披露，但是在同行內(nèi)融資數(shù)量還是相對較多的，多家資本都是中國前百強(qiáng)投資機(jī)構(gòu)。

如果這次IPO成功，微導(dǎo)納米將在科創(chuàng)板資本市場融資10億元資金，再次加大研發(fā)投入，用于基于原子層沉積技術(shù)的光伏及柔性電子、半導(dǎo)體配套設(shè)備的擴(kuò)產(chǎn)升級等。

目前微導(dǎo)納米的最大股東是萬海盈投資，直接持股56.86%。而現(xiàn)任董事長王磊先生，與王燕清、倪亞蘭組成的家族通過萬海盈投資、聚海盈管理、德厚盈投資間接控制微導(dǎo)納米67.34%的股份，成為微導(dǎo)納米的實(shí)際控制人。

2021年增收不增利，超4成營收來自光伏ALD設(shè)備，設(shè)備改造業(yè)務(wù)表現(xiàn)強(qiáng)勁

微導(dǎo)納米聚焦薄膜沉積設(shè)備領(lǐng)域的研發(fā)，薄膜沉積設(shè)備通常用于在基底上沉積導(dǎo)體、絕緣體或者半導(dǎo)體等材料膜層，使之具備一定的特殊性能，廣泛應(yīng)用于光伏、半導(dǎo)體等領(lǐng)域的生產(chǎn)制造環(huán)節(jié)。

2015年成立最初，微導(dǎo)納米以光伏電池領(lǐng)域的薄膜沉積設(shè)備研發(fā)為主，而后進(jìn)一步深化原子層沉積（ALD）技術(shù)，開發(fā)對技術(shù)水平和工藝要求更高的半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備。據(jù)悉，微導(dǎo)納米的半導(dǎo)體ALD設(shè)備已突破了28nm集成電路制造工藝制程，光伏ALD量產(chǎn)設(shè)備鍍膜速率已突破10000片/小時(shí)。

在這7年的時(shí)間里，微導(dǎo)納米所處的光伏、半導(dǎo)體行業(yè)快速發(fā)展。我國連續(xù)九年新增光伏發(fā)電裝機(jī)量位居世界第一，半導(dǎo)體設(shè)備一直保持兩位數(shù)增長。根據(jù)Maximize Market Research統(tǒng)計(jì)的數(shù)據(jù)顯示，全球半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備市場規(guī)模從2017年的125億美元擴(kuò)大至2021年的190億美元，年復(fù)合增長率為11.04%。預(yù)計(jì)2022年市場規(guī)模將突破220億美元。

隨著光伏、半導(dǎo)體市場需求的快速增長，微導(dǎo)納米近三年的業(yè)績規(guī)模也在持續(xù)不斷地增長，但暫時(shí)沒有出現(xiàn)翻倍高增長的趨勢，且營收漲幅有所縮小。2021年?duì)I收規(guī)模由2020年的3.13億元擴(kuò)大至4.28億元，同比增速由44.82%降至36.91%。

2019年-2021年微導(dǎo)納米的營業(yè)收入、凈利潤、主營毛利率具體的數(shù)據(jù)如下所示：

凈利潤方面，2020年以4.32%的速度由2019年的0.55億元增長至0.57億元，2021年下滑至0.46億元，首度出現(xiàn)增收不增利的情況。同時(shí)主營業(yè)務(wù)毛利率出現(xiàn)逐年下滑的趨勢，2019年毛利率為53.97%，2021年降至45.83%。據(jù)了解，這可能跟微導(dǎo)納米光伏領(lǐng)域新推出的PECVD設(shè)備和PEALD二合一平臺設(shè)備有關(guān)，2021年這兩大設(shè)備的毛利率分別為18.79%、19.59%，而光伏的ALD設(shè)備毛利率達(dá)46.83%，半導(dǎo)體的ALD設(shè)備更是高達(dá)52.20%，由此可見微導(dǎo)納米毛利率逐年下降極有可能是受低毛利率產(chǎn)品拖累。

微導(dǎo)納米的營收主要來源于專用設(shè)備業(yè)務(wù)，報(bào)告期內(nèi)該業(yè)務(wù)收入占總營收的比例分別為93.59%、95.74%、70.29%，2019年、2020年?duì)I收貢獻(xiàn)率均在9成以上，2021年降至7成。

專用設(shè)備業(yè)務(wù)包括光伏領(lǐng)域的 ALD設(shè)備、PECVD設(shè)備、PEALD二合一平臺設(shè)備，以及半導(dǎo)體領(lǐng)域的ALD設(shè)備，2021年銷量分別為22臺、19臺、17臺、1臺，銷售均價(jià)分別為618.95萬元/臺、374.90萬元/臺、399.27萬元/臺、2520萬元/臺，半導(dǎo)體領(lǐng)域的ALD設(shè)備為目前微導(dǎo)納米賣得最貴的產(chǎn)品。2021年專業(yè)設(shè)備業(yè)務(wù)收入達(dá)30047.48萬元，而光伏ALD設(shè)備銷售收入占比45.32%，銷售均價(jià)最高的半導(dǎo)體ALD設(shè)備則占8.39%。

圖：微導(dǎo)納米的半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備

招股書顯示，PECVD設(shè)備、PEALD二合一平臺設(shè)備以及半導(dǎo)體的ALD設(shè)備均是2021年才開始創(chuàng)造營收的產(chǎn)品，微導(dǎo)納米2019年、2020年?duì)I收增長完全是依靠光伏的ALD設(shè)備產(chǎn)品。

2021年微導(dǎo)納米的配套產(chǎn)品及服務(wù)業(yè)務(wù)收入強(qiáng)勁增長，漲幅高達(dá)854.06%。據(jù)悉，微導(dǎo)納米的配套產(chǎn)品及服務(wù)業(yè)務(wù)主要包括設(shè)備的尺寸改造、工藝改造、備品備件。該項(xiàng)業(yè)務(wù)2021年收入高漲，說明當(dāng)期微導(dǎo)納米所接下的設(shè)備改造訂單增長明顯，同時(shí)也側(cè)面反映了光伏和半導(dǎo)體行業(yè)廠商偏向?qū)υ性O(shè)備進(jìn)行改造以適用新工藝制程生產(chǎn)的現(xiàn)象。

客戶方面，微導(dǎo)納米已與通威太陽能、隆基股份、晶澳太陽能、阿特斯、天合光能、中輝科技、華恒新能源、龍恒新能源、陽光中科等知名廠商建立長期穩(wěn)定的合作。

半導(dǎo)體ADL設(shè)備研發(fā)投入翻倍增長，產(chǎn)能等多項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國際大廠水平

目前全球前十大半導(dǎo)體設(shè)備制造商主要集中在美國、日本和荷蘭，占據(jù)全球76.63%的市場份額，全球半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備基本被AMAT、ASM、Lam、TEL等國際巨頭壟斷。而我國半導(dǎo)體設(shè)備廠商因發(fā)展較晚，2020年半導(dǎo)體薄膜沉積設(shè)備國產(chǎn)化率僅達(dá)8%，主要廠商是北方華創(chuàng)、中微公司、拓荊科技。

另外在光伏薄膜沉積設(shè)備領(lǐng)域，微導(dǎo)納米面臨的主要競爭對手是捷佳偉創(chuàng)、北方華創(chuàng)、無錫松煜、理想晶延、紅太陽以及海外的Centrotherm。

2020年，微導(dǎo)納米在營收規(guī)模與國內(nèi)同行企業(yè)的對比情況如下：

微導(dǎo)納米的營收規(guī)模與上市企業(yè)北方華創(chuàng)、捷佳偉創(chuàng)的差距較大，與未上市的紅太陽接近，超過未上市的無錫松煜、理想晶延。

在盈利能力方面，近三年微導(dǎo)納米的毛利率均高于同行企業(yè)平均水平，2021年雖然毛利率略有下降，但仍然超過捷佳偉創(chuàng)、北方華創(chuàng)、中微公司等同行企業(yè)。

在研發(fā)投入方面，近三年微導(dǎo)納米保持研發(fā)高投入，每年度的研發(fā)費(fèi)用始終在銷售費(fèi)用、管理費(fèi)用和財(cái)務(wù)費(fèi)用之上。具體2019年-2021年的研發(fā)費(fèi)用分別為0.31億元、0.54億元、0.97億元，2021年研發(fā)投入將近2020年的一半。同期研發(fā)費(fèi)用分別占總營收的比例為14.41%、17.91%、22.68%，研發(fā)費(fèi)用占比呈現(xiàn)逐年提升的趨勢。

2020年微導(dǎo)納米開始進(jìn)軍半導(dǎo)體領(lǐng)域，研發(fā)半導(dǎo)體用的ALD設(shè)備，三年累計(jì)研發(fā)投入6821.45萬元。2021年微導(dǎo)納米顯著加大對半導(dǎo)體領(lǐng)域的研發(fā)，半導(dǎo)體研發(fā)投入的金額相比2020年增長了112.50%。

招股書顯示，2021年微導(dǎo)納米新啟動(dòng)的半導(dǎo)體研發(fā)項(xiàng)目主要有新一代化合物半導(dǎo)體Mini LED顯示技術(shù)關(guān)鍵工藝技術(shù)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化、先進(jìn)化合物半導(dǎo)體及微機(jī)電關(guān)鍵工藝技術(shù)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化、尖端存儲器件原子層沉積設(shè)備及工藝開發(fā)、基于300mm晶圓半導(dǎo)體制造高產(chǎn)能自動(dòng)化真空傳輸技術(shù)的研究與產(chǎn)業(yè)化等。

在技術(shù)實(shí)力上，微導(dǎo)納米光伏應(yīng)用的Al2O3鍍膜設(shè)備生產(chǎn)效率行業(yè)領(lǐng)先，每小時(shí)產(chǎn)能最高10000片，而 Centrotherm、捷佳偉創(chuàng)、理想晶延產(chǎn)能分別為6000片/小時(shí)、6450片/小時(shí)、7200片/小時(shí)。

圖：微導(dǎo)納米光伏的Al2O3鍍膜設(shè)備技術(shù)對比

微導(dǎo)納米的半導(dǎo)體ALD設(shè)備在設(shè)備產(chǎn)能、平均故障間隔時(shí)間、平均破片率、平均修復(fù)時(shí)間等技術(shù)指標(biāo)上達(dá)到國際大廠同類設(shè)備的水平。

圖：微導(dǎo)納米半導(dǎo)體ALD設(shè)備技術(shù)對比

在成立的7年時(shí)間里，微導(dǎo)納米不斷強(qiáng)化自身的技術(shù)壁壘，先后自主研發(fā)了原子層沉積反應(yīng)器設(shè)計(jì)技術(shù)、高產(chǎn)能真空鍍膜技術(shù)、真空鍍膜設(shè)備工藝反應(yīng)氣體控制技術(shù)、納米疊層薄膜沉積技術(shù)、高質(zhì)量薄膜制造技術(shù)、工藝設(shè)備能量控制技術(shù)、基于原子層沉積的高效電池技術(shù)等核心技術(shù)。

截至2021年底，微導(dǎo)納米已取得94項(xiàng)國家授權(quán)專利，其中發(fā)明專利13項(xiàng)、實(shí)用新型專利72項(xiàng)、外觀設(shè)計(jì)專利9項(xiàng)，并擁有軟件著作權(quán)19項(xiàng)。

募資10億元，擴(kuò)產(chǎn)升級半導(dǎo)體配套設(shè)備等

先前已完成7輪融資的微導(dǎo)納米，此次沖刺科創(chuàng)板上市，還將募集10億元，保障未來幾年研發(fā)項(xiàng)目的資金投入。

據(jù)悉，微導(dǎo)納米上市后的融資，主要投向“基于原子層沉積技術(shù)的光伏及柔性電子設(shè)備擴(kuò)產(chǎn)升級項(xiàng)目”、“基于原子層沉積技術(shù)的半導(dǎo)體配套設(shè)備擴(kuò)產(chǎn)升級項(xiàng)目”和“集成電路高端裝備產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用中心項(xiàng)目”。

從募集資金的分配來看，半導(dǎo)體配套設(shè)備的擴(kuò)產(chǎn)升級項(xiàng)目投資規(guī)模最高，從此處也能看到未來相比光伏、柔性電子領(lǐng)域，微導(dǎo)納米更著重半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，大幅擴(kuò)充半導(dǎo)體的ALD設(shè)備產(chǎn)能。募投項(xiàng)目實(shí)施后，微導(dǎo)納米將新增年產(chǎn)40套ALD設(shè)備。據(jù)悉，目前微導(dǎo)納米一臺半導(dǎo)體ALD設(shè)備售價(jià)高達(dá)2520萬元，40臺價(jià)值高達(dá)10.08億元，為2021年全年?duì)I收的2.36倍。

而投入2.5億元募集資金的光伏及柔性電子設(shè)備擴(kuò)產(chǎn)升級項(xiàng)目，將新增年產(chǎn)120臺ALD設(shè)備。

投資1.18億元的“集成電路高端裝備產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用中心項(xiàng)目”則主要是針對更先進(jìn)技術(shù)節(jié)點(diǎn)和工藝性能，搭建先進(jìn)集成電路制造裝備的研發(fā)平臺、高端研發(fā)人才培養(yǎng)平臺，進(jìn)行高端應(yīng)用領(lǐng)域的ALD設(shè)備研發(fā)。

微導(dǎo)納米通過募投項(xiàng)目擴(kuò)大應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏領(lǐng)域的ALD設(shè)備生產(chǎn)規(guī)模，提升薄膜沉積設(shè)備市場占有率，這將促進(jìn)國內(nèi)薄膜沉積設(shè)備與技術(shù)的發(fā)展，助力半導(dǎo)體、光伏行業(yè)高端裝備的國產(chǎn)化替代。

從募投項(xiàng)目來看，未來微導(dǎo)納米除了繼續(xù)在光伏、半導(dǎo)體領(lǐng)域持續(xù)開拓外，還將向柔性電子等領(lǐng)域進(jìn)軍，橫向延伸至平板、曲面及柔性顯示器產(chǎn)業(yè)，進(jìn)入新的領(lǐng)域豐富自身的產(chǎn)品線。