真空機(jī)器人是一種在真空環(huán)境下工作的機(jī)器人，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中，實(shí)現(xiàn)晶圓在真空腔室內(nèi)的傳輸。真空機(jī)械手難進(jìn)口、受限制、用量大、通用性強(qiáng)，其成為制約了半導(dǎo)體裝備整機(jī)的研發(fā)進(jìn)度和整機(jī)產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力的關(guān)鍵部件。

通常機(jī)器人的關(guān)節(jié)可以分為旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)和直線關(guān)節(jié)，但具體到真空環(huán)境中，可能有一些特殊的設(shè)計(jì)。比如，在真空環(huán)境下，潤(rùn)滑和材料的選擇非常重要，因?yàn)閭鹘y(tǒng)潤(rùn)滑油可能會(huì)揮發(fā)，污染真空環(huán)境。此外，驅(qū)動(dòng)方式也可能不同，比如使用無(wú)塵電機(jī)或者磁力驅(qū)動(dòng)來(lái)避免產(chǎn)生顆粒。還需要考慮冗余設(shè)計(jì)，特別是在空間應(yīng)用中，可靠性至關(guān)重要。所以關(guān)節(jié)可能具備冗余驅(qū)動(dòng)或傳感器，以提高系統(tǒng)的可靠性。
Akribis的直驅(qū)無(wú)刷無(wú)框電機(jī)，能夠滿(mǎn)足真空環(huán)境下使用，由轉(zhuǎn)子和定子組成高扭矩密度，用于機(jī)器人關(guān)節(jié)位置更加靈活、確切的運(yùn)動(dòng)，具有更好的控制精度。采用優(yōu)化的磁路設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)更低的齒槽力，運(yùn)行更加平穩(wěn)。提供完整的型號(hào)可供選擇，可以按照客戶(hù)需求定制，憑借專(zhuān)業(yè)的直驅(qū)電機(jī)研發(fā)技術(shù)團(tuán)隊(duì)，可以為客戶(hù)定制化開(kāi)發(fā)解決方案。 真空機(jī)器人關(guān)節(jié)的設(shè)計(jì)是材料科學(xué)、精密機(jī)械和真空技術(shù)的綜合體現(xiàn)，需在精度、可靠性和環(huán)境適應(yīng)性間取得平衡。

審核編輯 黃宇