超高分辨率壓電納米定位臺(tái)憑借其高精度、快速響應(yīng)和高穩(wěn)定性的卓越性能，引領(lǐng)眾多行業(yè)技術(shù)革新，為科研和工業(yè)生產(chǎn)帶來了前所未有的可能性。無論是在基礎(chǔ)科學(xué)研究中探索微觀世界的奧秘，還是在高端制造業(yè)中提升產(chǎn)品質(zhì)量和性能，壓電納米定位臺(tái)都發(fā)揮著不可替代的作用。

P66.X5K壓電納米定位臺(tái)采用壓電陶瓷直驅(qū)技術(shù)，可產(chǎn)生X向一維運(yùn)動(dòng)，行程可達(dá)4.7μm，開環(huán)分辨率達(dá)0.2nm，可精準(zhǔn)捕捉原子級(jí)位移變化，是一款具有超高分辨率的一維壓電納米定位臺(tái)。水平方向安裝承載可達(dá)2kg，立式與倒置安裝同樣穩(wěn)定可靠，兼顧微小位移精度與大負(fù)載穩(wěn)定性。體積小巧，結(jié)構(gòu)緊湊，尺寸僅為85×70×15.5mm^3，成為空間受限場(chǎng)景的理想選擇。產(chǎn)品外觀如下圖所示。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1.一維X向運(yùn)動(dòng)

2.行程可達(dá)4.7μm

開環(huán)位移曲線

3. 承載可達(dá)2kg

4.安裝方式可選

典型應(yīng)用

1.半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體芯片制造過程中，光刻環(huán)節(jié)對(duì)定位精度的要求近乎苛刻。壓電納米定位臺(tái)可用于精確控制晶圓和掩模版的相對(duì)位置，確保光刻圖案的精準(zhǔn)轉(zhuǎn)移。利用壓電納米定位臺(tái)的超高精度，能夠有效提高芯片制造的良品率，推動(dòng)半導(dǎo)體制造工藝向更小制程、更高集成度發(fā)展。

注：圖片來源于網(wǎng)絡(luò)

2.顯微/掃描：壓電納米定位臺(tái)可提供亞納米級(jí)精度、超高穩(wěn)定性和快速響應(yīng)能力，已成為現(xiàn)代顯微成像與掃描技術(shù)的核心組件，廣泛應(yīng)用于超分辨顯微鏡、原子力顯微鏡（AFM）、共聚焦顯微鏡、電子顯微鏡（SEM/TEM）等設(shè)備。

注：圖片來源于網(wǎng)絡(luò)

3. 光學(xué)測(cè)量：光學(xué)測(cè)量是利用光的性質(zhì)如光的傳播、反射、折射、干涉、衍射等，進(jìn)行長度、形狀、角度、顏色等精確測(cè)量的非接觸式測(cè)量技術(shù)，壓電納米定位臺(tái)以其高精度和快速響應(yīng)的特點(diǎn)，在光學(xué)測(cè)量技術(shù)中提供納米級(jí)精密定位，可使測(cè)量結(jié)果更精確。

注：圖片來源于網(wǎng)絡(luò)

技術(shù)參數(shù)

配套控制器

E01.C1壓電控制器非常適用于驅(qū)動(dòng)P66.X5K壓電納米定位臺(tái)。E01.C1是一款機(jī)箱式單通道壓電陶瓷控制器。輸出電壓范圍-20V~120V，帶寬10kHz，可手動(dòng)調(diào)節(jié)、模擬輸入、自發(fā)波形控制，配備計(jì)算機(jī)串口/USB接口，液晶鍵盤顯示，操作便捷。

審核編輯 黃宇