北方華創(chuàng)發(fā)布公告,公司及全資子公司北方華創(chuàng)微電子當(dāng)日收到北京市經(jīng)信委通過(guò)北京電子控股有限責(zé)任公司撥付的國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)地方政府配套資金合計(jì)20978萬(wàn)元。上述政府補(bǔ)助預(yù)計(jì)不會(huì)影響公司2018年度稅前利潤(rùn)總額。
具體項(xiàng)目補(bǔ)助情況分別為:
1、“45-32nm LPCVD設(shè)備產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目
根據(jù)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”專(zhuān)項(xiàng)實(shí)施管理辦公室下發(fā)的《關(guān)于02專(zhuān)項(xiàng)2011年度項(xiàng)目立項(xiàng)批復(fù)的通知》 【ZX02[2011]003號(hào)】及其附件,北方華創(chuàng)承擔(dān)了國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)“45-32nm LPCVD設(shè)備產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目,項(xiàng)目執(zhí)行期六年(2011年-2016年)。本次,北方華創(chuàng)收到地方政府配套資金2,328.00萬(wàn)元。
2、“14nm立體柵等離子體刻蝕機(jī)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目
根據(jù)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”專(zhuān)項(xiàng)實(shí)施管理辦公室下發(fā)的《關(guān)于02專(zhuān)項(xiàng)2014年度項(xiàng)目立項(xiàng)批復(fù)及落實(shí)地方配套經(jīng)費(fèi)的通知》【ZX02[2014]018號(hào)】及其附件,北方華創(chuàng)微電子承擔(dān)了國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)“14nm立體柵等離子體刻蝕機(jī)研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目,項(xiàng)目執(zhí)行期四年(2014年-2017年)。本次,北方華創(chuàng)微電子收到地方政府配套資金9,423.00萬(wàn)元。

3、“28-14nm原子層沉積系統(tǒng)(ALD)產(chǎn)品研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目
根據(jù)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”專(zhuān)項(xiàng)實(shí)施管理辦公室下發(fā)的《關(guān)于02專(zhuān)項(xiàng)2015年度項(xiàng)目立項(xiàng)批復(fù)的通知》【ZX02[2015]018號(hào)】及其附件,北方華創(chuàng)微電子承擔(dān)了國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)“28-14nm原子層沉積系統(tǒng)(ALD)產(chǎn)品研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目,項(xiàng)目執(zhí)行期四年(2015年-2018年)。本次,北方華創(chuàng)微電子收到地方政府配套資金4,811.00萬(wàn)元。
4、“14-7nm CuBS多工藝腔室集成裝備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目
根據(jù)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”專(zhuān)項(xiàng)實(shí)施管理辦公室下發(fā)的《關(guān)于02專(zhuān)項(xiàng)2016年度項(xiàng)目立項(xiàng)批復(fù)的通知》 【ZX02[2016]008號(hào)】及其附件,北方華創(chuàng)微電子承擔(dān)了國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)“14-7nm CuBS多工藝腔室集成裝備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目,項(xiàng)目執(zhí)行期四年(2016年-2019年)。本次,北方華創(chuàng)微電子收到地方政府配套資金4,416.00萬(wàn)元。
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