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廠商產(chǎn)品 +關(guān)注129人關(guān)注

微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。

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mems資訊

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2025-09-16 標(biāo)簽:傳感器芯片mems 1.4k 0

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中國電科自主研發(fā)兩款MEMS傳感器 實現(xiàn)“百萬量級”裝車交付

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應(yīng)用迅速延伸 MEMS傳感器將成你的新數(shù)字感官

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合肥致真精密設(shè)備獲天使輪數(shù)千萬元投資

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