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      標簽　>　mems

      微機電系統(tǒng)（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。

      文章：3940個 瀏覽：199809次 帖子：462個

      mems資訊

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      2019-08-27 標簽：adimems機械 2.3k 0

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      2023-10-11 標簽：mems光學儀器顯微鏡 2.3k 0

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      2022-12-07 標簽：mems無人機激光雷達 2.3k 0

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