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湖南三安“晶圓尋邊裝置”專利獲授權(quán)

微云疏影 ? 來源:綜合整理 ? 作者:綜合整理 ? 2023-09-27 10:27 ? 次閱讀
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天眼查結(jié)果顯示,湖南三安半導(dǎo)體有限責(zé)任公司的“晶圓尋邊裝置”專利被批準(zhǔn)。許可公告日為9月26日,許可公告號為cn219759550u。

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本實(shí)用新型專利摘要據(jù)公開找到一種晶片邊裝置,半導(dǎo)體制造相關(guān)輔助裝置技術(shù)領(lǐng)域,通過推片機(jī)構(gòu)來將放置在承載臺負(fù)載區(qū)域的第一卡塞內(nèi)的晶圓推入放置在過渡區(qū)域的第二卡塞內(nèi),以免手動推片替換卡塞導(dǎo)致晶圓臟污甚至碎片的風(fēng)險(xiǎn),并將第二卡塞移動到邊緣探索區(qū)域,尋找邊緣接觸到第二卡塞內(nèi)的晶圓,利用平板邊緣特性的晶圓片的邊緣尋找可以更加精密地進(jìn)行。

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