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探訪英特爾中外芯片晶圓廠:CPU是怎樣煉成的?

454398 ? 來源:本站整理 ? 作者:秩名 ? 2012-09-08 11:35 ? 次閱讀
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英特爾海外CPU制造廠探秘

Intel在以色列這個國家有很多工廠,其中就包括 兩個芯片生產(chǎn)工廠,我們將共同前往領(lǐng)略一下Intel Fab18工廠的奇幻旅程。Fab18坐落在以色列的Kiryat Gat,主要負(fù)責(zé)生產(chǎn)90 nm制造工藝的Pentium 4處理器,當(dāng)然還包括一些芯片組以及閃存顆粒。

首先我們先看一下Intel工廠及研發(fā)中心的全球分布情況:

Intel工廠及研發(fā)中心

如圖所示,在這些工廠中,完整的晶圓片將被分割為若干的芯片,然后這些切割出來的芯片被送往其它的工廠進(jìn)行裝配和測試,它們在那里將再接受分割,之后這 些芯片被分為處理器或者是芯片組,然后進(jìn)行最后的封裝工作。而且從圖中我們可以了解到,其實全球只有3個國家和地區(qū)擁有Intel晶圓工廠(Fab):美 國、愛爾蘭以及以色列。

裝配和測試的工廠則都被設(shè)立在離消費(fèi)市場很近的地方。其實,細(xì)心的人會發(fā)現(xiàn)在我們市場上接觸到的CPU成品上, 經(jīng)常會刻有“Costa Rica”、“Malaysia”或者是“Philippines”等的字樣,而從來看不到“Israel”,因為以色列的Fab18最終的成品是晶圓 片,后期加工要送到其他的專門負(fù)責(zé)裝配和測試的工廠。此外,在以色列除了我們今天要重點介紹的Fab18外,還有一個重要的工廠是不得不提到的,那就是— Fab8,它坐落在耶路撒冷,始建于1985年,是首個在美國國外建立的Intel晶圓工廠。

以色列擁有很多研發(fā)中心

Haifa團(tuán)隊主要負(fù)責(zé)建立Pentium M CPU以及所有的基于相同架構(gòu)的其他CPU產(chǎn)品,例如Yonah(雙核心Pentium M)以及即將推出的Merom、Conroe和Woodcrest。Haifa可謂是歷史悠久,始建于1974年,也就是在Intel成立5年之后,由創(chuàng) 立EPROM芯片的Dov Frohman領(lǐng)導(dǎo)的5人工程師小組最新開辟的根據(jù)地。Petach Tikva團(tuán)隊主要負(fù)責(zé)開發(fā)所有的Intel cell CPU,還有Wi-Max技術(shù)。



下面我們進(jìn)入到今天的主角—Fab18工廠一探究竟。

Fab18工廠外觀

Intel Fab18建立于1999年,那個年代主要負(fù)責(zé)制造Pentium III晶圓片。后來升級到了90 nm制造工藝而且現(xiàn)在也生產(chǎn)重心也轉(zhuǎn)移到了制造Pentium 4 CPU晶圓片、芯片組和閃存顆粒上,員工總數(shù)約3,700人。

Fab18占地面積大約兩個英式足球場大小,為了保持無塵環(huán)境投入了很高成本,不過,并非所有的車間都需要這種無塵的環(huán)境。有趣的是,地面并非是我們平 常所了解的硬地板,而是采用的一種類似于網(wǎng)狀的設(shè)計,但是非常的堅固,目的是保持空氣的流通。房間的空氣,每4分鐘就要完全的更換一次。

Fab18生產(chǎn)車間

圖片上是其中的一個無塵車間,可以注意一下地板。工作人員必須穿防塵服,免得讓晶圓遭受污染。遠(yuǎn)處技術(shù)人員所抱的“黑匣子”名字叫“l(fā)ot”,里面裝的 就是晶圓。他要做的是把這個“l(fā)ot”安裝在一個機(jī)器(或者是叫處理工具)當(dāng)中?;诔杀痉矫娴目紤],只有“l(fā)ot”入口是在無塵房間中,而其他部分是在 低于無塵等級的“chase”當(dāng)中。

晶圓生產(chǎn)設(shè)備

這就是我們剛才提到的“chase”車間(留意地板)。這就是處理那些晶圓片的機(jī)器,也就是處理剛才技術(shù)人員抱著的“l(fā)ot”。



整個工廠的無塵房間和機(jī)器數(shù)量是非常的可觀的,因為制造一個CPU晶圓片的工藝過程是非常的復(fù)雜的。

一個Pentium 4 CPU要使用26道光刻掩膜(photolithographic mask)工序。每一個工序又需要很多的處理步驟,再加上攙雜以及金屬鍍層等,最后一個CPU制造工序就有上百道。

在這里順便給大家說一下,很多車間中需要使用紫外線照射,這是必不可少的,但是在無塵車間(clean room)中通常要使用白光,而我們剛介紹的無塵車間使用的是橙色光,這又與其他的無塵車間使用的不同,因為這里是晶圓加工的初步工序,而原因是 photoresist層對白光非常敏感。

安裝“l(fā)ot”晶圓盒子

工作人間不能直接的接觸晶圓片,而是要放在一個叫“l(fā)ot”的黑色方盒子中,每個盒子能放25張晶圓片。在Intel工廠中,lot采用的是鋁材料做金屬層,并且為黑色,晶圓片采用的銅做材料,為橙色。



早期的lot模型

這是早期的lot模型,現(xiàn)在已經(jīng)陳列在Fab18的博物館中了。當(dāng)工作人員把lot放到處理機(jī)器當(dāng)中的時候,機(jī)器將會逐個的提取這25張晶圓片,處理完畢后再放回到lot中。

從一個無塵房間到另一個無塵房間,lot都是按照預(yù)定軌跡自動的被傳送。在圖上,注意大約天花板的高度,那個軌跡就是用來傳送lot的。在某些條件 下,lot是被直接的輸送到相應(yīng)的機(jī)器當(dāng)中,不需要人工的干預(yù)。在每臺機(jī)器上都有一個屏幕,方面技術(shù)人員觀察目前機(jī)器工作情況以及晶圓片處理到了哪種程度 上。

我們開始已經(jīng)提到了,F(xiàn)ab18最后的成品并非是我們用戶最終使用的CPU,晶圓片當(dāng)中包含了很多的芯片,這些晶圓要被送到如 Malaysia、Costa Rica以及Philippines這些地區(qū)的裝配及測試工廠,在那里晶圓片被切割,將個體芯片從上面分離下來,測試、貼標(biāo)并出貨,最后才到了我們用戶手 上。



揭秘大連英特爾亞洲首家晶圓制造工廠

2010年10月26日,大連——英特爾公司在中國的首個晶圓制造設(shè)施今天在大連落成。這座晶圓制造廠是英特爾1992年在愛爾蘭建立F10晶圓廠后, 新建的第一座晶圓廠,也是英特爾在亞洲的第一個晶圓制造工廠。在投產(chǎn)當(dāng)天,筆者有幸隨行參觀了亞洲第一個晶圓制造工廠。

2007年9月破土動工的大連芯片廠如今已經(jīng)投產(chǎn)

大連芯片廠位于大連市金州新區(qū)出口加工區(qū)內(nèi),其投資總額為25億美元,與2007年9月破土動工。英特爾大連芯片廠是英特爾在全球第八家300毫米晶圓 廠,投產(chǎn)后將首先生產(chǎn)芯片組產(chǎn)品,支持從筆記本電腦,高性能臺式機(jī)到基于英特爾至強(qiáng)處理器的服務(wù)器等各種領(lǐng)先產(chǎn)品。一塊使用65nm制程的300毫米晶圓 上有數(shù)百個芯片,芯片的晶體管線寬比人的頭發(fā)絲還要細(xì)1400倍。新工廠將首先采用65nm制程技術(shù)。

英特爾大連芯片廠

英特爾大連芯片廠總使用面積達(dá)到163,000平方米,大約是23個足球場的面積。新晶圓廠潔凈車間的潔凈度為“10級”,即每立方英尺的空氣中0.5微米或稍大些的微塵數(shù)量不超過10個,而人的頭發(fā)絲直徑為80微米。



英特爾大連芯片廠廠外

大連芯片廠的施工超過了16,441,82個工時,共有24,711名建筑工人參與了工程建設(shè),在建廠高峰期,同時有3215名建筑工人在現(xiàn)場施工。建 設(shè)大連芯片廠共使用混凝土152,320立方米,鋼材29,275噸,管材426,140米,電纜 667,482米(不包括信號電纜),大約27,229個燈具以及23,801平方米的潔凈車間地板磚。同時還加設(shè)了4,140米的懸掛式單軌輸送道,可 同時在潔凈車間內(nèi)數(shù)百個工藝處理設(shè)備之間平均運(yùn)送116個晶圓傳送行車。

英特爾大連芯片廠前臺

●英特爾選派了300多名員工到美國和愛爾蘭接受了專業(yè)培訓(xùn),也派了200多名外籍員工來中國工作,以確保大連工廠的順利開工投產(chǎn)。其它培訓(xùn)投入包括:

1. 自2008年1月起,課堂培訓(xùn)超過175,000個課時。

2. 向新入職本地員工授予了500多個設(shè)備操作資質(zhì)證書和250多個設(shè)備維護(hù)資質(zhì)證書。

3. 60多名新入職的管理人員完成了“管理與領(lǐng)導(dǎo)力發(fā)展課程。

4. 進(jìn)行了數(shù)千小時的在崗培訓(xùn)。

5. 除了向大連派駐200多名外籍員工,還從英特爾全球各個工廠選派了50多位專家到大連培訓(xùn)員工。

英特爾建廠以來積極參與當(dāng)?shù)厣鐣顒?/p>

●自宣布建設(shè)大連芯片廠以來,英特爾一直積極參與當(dāng)?shù)厣鐣顒樱?/p>

1. 2007年以來,大連市共有超過1700名教師接受了英特爾未來教育項目的培訓(xùn)。

2. 2007年以來,大連市共有超過1000名青少年接受了英特爾求知計劃培訓(xùn)。、

3. 2009年,英特爾大連芯片廠的員工為社區(qū)奉獻(xiàn)了5000多個小時的志愿服務(wù),員工的參與率達(dá)到了60%,包括英語和電腦培訓(xùn),幫助弱勢群體和環(huán)境保護(hù)等活動。2010年大連芯片廠員工參與社區(qū)活動的志愿服務(wù)已超過5000小時。

英特爾建廠以來積極參與社會活動

●大連芯片廠的設(shè)計采用英特爾全球環(huán)境績效的高標(biāo)準(zhǔn),體現(xiàn)在節(jié)水,節(jié)能,化學(xué)廢料管理等各個方面:

1. 2009年,大連芯片廠的工程師們在水處理系統(tǒng)中采用了創(chuàng)新設(shè)計,回收再利用生產(chǎn)過程的沖洗水,并因此榮獲英特爾最高級別的環(huán)境卓越金獎。

2. 這一全球最先進(jìn)的水處理系統(tǒng)在工廠滿負(fù)荷運(yùn)行時,每年可節(jié)約26萬噸城市自來水。這些水可以用來生產(chǎn)約1,295,094個普通雞蛋,或54噸豬肉,17噸牛肉,69噸大米。

3. 大連芯片廠的建筑物四周環(huán)繞綠地,樹木和原生植物,可充分利用自然光,極具能源效率。

迄今為止,已有約24家新供應(yīng)商落戶大連,與英特爾開展業(yè)務(wù)。此外,還有80多家大連企業(yè)成為英特爾的供應(yīng)商。


英特爾大連芯片廠揭秘

英特爾大連芯片廠是英特爾在全球第八家300毫米晶圓廠,投產(chǎn)后將首先生產(chǎn)芯片組產(chǎn)品,支持從筆記本電腦,高性能臺式機(jī)到基于英特爾至強(qiáng)處理器的服務(wù)器 等各種領(lǐng)先產(chǎn)品。一塊使用65nm制程的300毫米晶圓上有數(shù)百個芯片,芯片的晶體管線寬比人的頭發(fā)絲還要細(xì)1400倍。新工廠將首先采用65nm制程技 術(shù)。

英特爾大連芯片廠綜合辦公樓

隨后,我們有幸來到了英特爾大連芯片廠綜合辦公樓進(jìn)行了參觀。作為英特爾在全球第八家300毫米晶圓廠以及亞洲的第一個晶圓制造工廠,大連芯片廠有著嚴(yán)格的安保措施。

大連芯片廠沙盤圖

目前英特爾大連芯片廠已經(jīng)建成投產(chǎn),從沙盤中我們還可以看出未來大連芯片廠還將會有二期建設(shè),擴(kuò)建后的工廠無疑將會擁有更高產(chǎn)能。




身著防塵服的模特

英特爾選派了300多名員工到美國和愛爾蘭接受了專業(yè)培訓(xùn),也派了200多名外籍員工來中國工作,以確保大連工廠的順利開工投產(chǎn)。除了向大連派駐200多名外籍員工,還從英特爾全球各個工廠選派了50多位專家到大連培訓(xùn)員工。

綜合辦公樓內(nèi)展示的英特爾處理器產(chǎn)品

在英特爾大連芯片廠的綜合辦公樓內(nèi),還展示了英特爾歷代的處理器產(chǎn)品以及各代晶圓。圖中所示的為目前最為主流的Atom和酷睿i7處理器產(chǎn)品。



英特爾工程師為大家講解處理器誕生過程

在現(xiàn)場,英特爾的技術(shù)專家還專門為現(xiàn)場人員講解了處理器是如何從一粒沙子變?yōu)閾碛懈咝阅艿男酒娜^程。隨后我們了解到,大連芯片廠的生產(chǎn)主要是從國外 進(jìn)口切割好的硅片,然后在硅片上進(jìn)行電路設(shè)計。在晶圓生產(chǎn)出來后,大連芯片廠的工作就基本完成,隨后完整的晶圓將會送去成都芯片封裝廠進(jìn)行切割,并完成最 后添加散熱頂蓋等等最后的封裝。

大廳內(nèi)的實時監(jiān)控能夠讓參觀的人實時看到芯片廠內(nèi)的一舉一動

英特爾晶圓賞析:




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