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微機電系統(tǒng)（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。

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mems技術

MEMS加工技術介紹

傳統(tǒng)機械加工方法指利用大機器制造小機器，再利用小機器制造微機器。可以用于加工一些在特殊場合應用的微機械裝置，例如微型機械手、微型工作臺等。

2020-07-21 標簽：mems MEMS技術 5.8k 0

如何用加速度計中斷引腳執(zhí)行喚醒和非運動檢測

一個數(shù)字MEMS加速度計通常有一個到兩個中斷輸出引腳，可以連接外部微處理器的I/O引腳。加速度計可配置成后臺監(jiān)視加速度或運動，同時微處理器可以處理其它任...

2018-04-16 標簽：mems 加速度計休眠喚醒 5.8k 0

硅通孔TSV-Through-Silicon Via

編者注：TSV是通過在芯片與芯片之間、晶圓和晶圓之間制作垂直導通；TSV技術通過銅、鎢、多晶硅等導電物質的填充，實現(xiàn)硅通孔的垂直電氣互聯(lián)，這項技術是目前...

2023-07-03 標簽：CMOS mems 晶體管 5.8k 0

FD-SOI與PD-SOI他們的區(qū)別在哪？

本文簡單介紹了兩種常用的SOI晶圓——FD-SOI與PD-SOI。

2024-03-17 標簽：mems 晶體管硅晶圓 5.8k 0

Yole：年末回顧全球MEMS器件中的創(chuàng)新設計

如今，MEMS器件已成為我們日常生活中不可或缺的一部分，盡管它們的存在常常被人忽略，其應用范圍從耳機中的麥克風到用于工業(yè)天線穩(wěn)定的慣性傳感器，無所不包。...

2025-12-15 標簽：mems 5.7k 0

一文淺析換能器的分類

換能器的英文名稱是transducer，用于實現(xiàn)不同形式的能量相互轉換的儀器或器件可以通稱為換能器。

2023-03-20 標簽：mems PVDF 換能器 5.7k 0

技術探究：微流控芯片技術為什么這樣強悍？

微流控芯片采用類似半導體的微機電加工技術在芯片上構建微流路系統(tǒng)，將實驗與分析過程轉載到由彼此聯(lián)系的路徑和液相小室組成的芯片結構上，加載生物樣品和反應液后...

2015-06-04 標簽：MCU MEMS 微流控芯片 5.7k 0

MEMS麥克風技術滿足音量市場的性能要求

MEMS麥克風含一個可移動的膜片和靜態(tài)背板，采用常見的包括沉積和選擇性蝕刻的工藝制作在硅晶圓基板上。背板有穿孔，允許空氣流通而不引起偏離。膜片的設計是為...

2017-08-30 標簽：傳感器 mems 語音識別 5.7k 0

基于MEMS的加速度計實現(xiàn)工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)的廣泛應用

經(jīng)典物理學習運動的基本方程：力=質量×加速度，其中加速度定義為速度的變化（其時間導數(shù)），速度是位置的變化（位置的時間導數(shù)）。加速度在數(shù)字上表示為SI（公...

2019-03-22 標簽：mems 加速度計工業(yè)物聯(lián)網(wǎng) 5.7k 0

淺談MLX90614片上的數(shù)字信號濾波器

MLX90614是易于集成的TO39封裝的紅外測溫儀。它使用兩芯片架構來提供完全集成和經(jīng)過校準的解決方案。

2021-05-25 標簽：濾波器 mems 信號濾波器 5.7k 0

一文匯總MEMS的發(fā)展與應用

卡西歐早年就以電機馬達、繼電器等機電產品聞名。如今的卡西歐本身就是MEMS的制造商之一，用MEMS的思路解決傳統(tǒng)機械手表遇到的問題是卡西歐的拿手好戲。所...

2019-06-02 標簽：mems 卡西歐 5.7k 0

使用LTspice進行工程電源和MEMS信號鏈模擬

現(xiàn)代MEMS傳感器解決方案的體積小、集成度高，并且放置在振動源附近，用于測量振動頻率。頻率隨時間的變化表明振動源（電機、發(fā)電機等）存在問題。

2021-11-19 標簽：adi mems 運算放大器 5.6k 0

介紹村田MEMS諧振器的3大特征

村田通過MEMS技術使該產品達到了小型化，并實現(xiàn)了與晶體諧振器相同的初始頻率精度（±20ppm）以上的頻率溫度特性（160ppm以下）（工作環(huán)境：-30...

2018-12-07 標簽：MEMS 諧振器村田 5.6k 0

慣性傳感器在運動感應游戲中的應用

另一個很好的例子是ADI公司的ADIS16407 iSensor器件，一個完整的慣性系統(tǒng)包括三軸陀螺儀，三軸加速度計，三軸磁力計和壓力傳感器。每個傳感器...

2019-02-06 標簽：傳感器 mems 游戲 5.6k 0

如何化解MEMS設計挑戰(zhàn)

麥姆斯咨詢：MEMS設計與IC不同，其可廣泛應用于機械、光學、磁場、流體和生物學領域，因而所使用的幾何形狀也就千變萬化，較為繁復。

2018-06-06 標簽：IC MEMS 5.6k 0

MEMS微針陣列及其在生物醫(yī)學上的應用

MEMS生物微針技術出現(xiàn)了并不是很長的時間，下面就微針較為廣泛的三個方面的應用原理及當前該技術的最新進展進行闡述。

2013-02-02 標簽：MEMS 微針技術 5.6k 0

最新傳感器技術：MEMS陀螺儀在任何情況下都能精確的慣性傳感

為了滿足這一需求，ADI公司開發(fā)了一種帶有集成信號調理功能的新型高溫MEMS陀螺儀， ADXRS645。該傳感器即使在存在沖擊和振動的情況下也能實現(xiàn)精確...

2019-04-10 標簽：mems 5.6k 0

如何通過傳感器檢測到能量并啟動麥克風

Vesper透露了“首款可商用的靜態(tài)感應MEMS器件”，該器件提出了一種依靠聲能將自己拉出省電模式的器件。Vesper首席執(zhí)行官Matt Crowley...

2021-05-04 標簽：放大器 mems 智能揚聲器 5.5k 0

加速度計技術的特點與應用

有許多因素導致加速度計技術的快速發(fā)展。首先是這類設備的市場不斷擴大，特別是在汽車，消費品和醫(yī)療電子產品領域，加速度計可以實現(xiàn)幫助產品在市場上取得成功的新...

2019-02-15 標簽：傳感器 mems 控制 5.5k 0

什么叫做MEMS？意法半導體將如何布局智能工業(yè)MEMS市場

什么叫做MEMS？在此先做個小科普：它的全稱Micro Electromechanical System，簡稱微機電系統(tǒng)。它是指尺寸在幾毫米乃至更小的高...

2018-10-03 標簽：傳感器 MEMS 意法半導體 5.5k 0

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硬件工程師Hardware Engineer職位要求熟悉計算機市場行情；制定計算機組裝計劃；能夠選購組裝需要的硬件設備，并能合理配置、安裝計算機和外圍設備；安裝和配置計算機軟件系統(tǒng)；保養(yǎng)硬件和外圍設備；清晰描述出現(xiàn)的計算機軟硬件故障。
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