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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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基于MEMS技術(shù)的RF開關(guān)在電路中的設(shè)計
RF開關(guān)用于從多個可用信號源中選擇所需信號,或?qū)⑿盘柭酚傻剿栊诺溃绶旨炀€系統(tǒng),雷達以及測試和測量設(shè)置等應(yīng)用。開關(guān)(有時稱為繼電器)可以使用類似于非...
MEMS加速度傳感器在電機健康狀態(tài)監(jiān)測上的應(yīng)用
常見的加速度傳感器主要有壓電陶瓷加速度傳感器、應(yīng)變式加速度傳感器、電容式加速度傳感器和MEMS加速度傳感器,傳統(tǒng)的電機振動監(jiān)測主要選用IEPE電壓輸出型...
全球?qū)Ш叫l(wèi)星系統(tǒng) (GNSS) 非常有用,能夠定位全球任意位置已正確啟用此功能的系統(tǒng),但僅僅使用 GNSS 接收器進行定位也存在一些問題。使用慣性測量裝...
陀螺儀LSM6DSOW開發(fā)(3)----FIFO數(shù)據(jù)讀取與配置
本文檔旨在詳細介紹如何配置和讀取LSM6DSOW傳感器的FIFO數(shù)據(jù)。LSM6DSOW是一款高性能的6軸IMU(慣性測量單元),集成了三軸加速度計和三軸...
MEMS_慣性傳感器16-磁力計橢球擬合校準(zhǔn)步驟
磁力計橢球擬合校準(zhǔn)是一種將磁力計測量數(shù)據(jù)校準(zhǔn)到真實磁場的技術(shù)。這種技術(shù)通常使用橢球模型來擬合磁力計的測量結(jié)果,然后通過最小二乘法來找到擬合參數(shù)的最優(yōu)解。
SMI推出的MEMS低壓傳感器系列產(chǎn)品SM9541介紹
基于該芯片的特有的復(fù)合壓力儀表產(chǎn)品可提供最佳的信號分辨率和診斷功能。14位分辨率和1%精度為用戶帶來高性能,每年0.2%的滿量程漂移穩(wěn)定性可為重要的保健...
增強現(xiàn)實/虛擬現(xiàn)實 (AR/VR) 系統(tǒng)正在各個領(lǐng)域得到日益廣泛的應(yīng)用,例如在娛樂、教育、醫(yī)療保健和其他工業(yè)應(yīng)用中。借助這些技術(shù),用戶能夠在虛擬空間中模...
2020-07-10 標(biāo)簽:mems光學(xué)傳感器超聲波傳感器 4.6k 0
高度可靠、精密測量控制的MEMS氣體質(zhì)量流量控制器
AMC1100和AMC2000都可支持空氣、氬氣、二氧化碳、氮氣、氧氣等干燥潔凈無腐蝕性氣體的測量控制,標(biāo)準(zhǔn)量程范圍都為0~100ml/min,在0-5...
MEMS熱式質(zhì)量流量傳感器的原理和應(yīng)用
熱式質(zhì)量流量傳感器是利用氣體流經(jīng)加熱元器件時,從加熱元器件表面帶走部分熱量,根據(jù)氣體流量與換熱量之間的關(guān)系進行測量。利用此傳感器做成的流量計具有結(jié)構(gòu)簡單...
利用Tanner EDA工具進行MEMS設(shè)計和仿真學(xué)習(xí)
高速的光網(wǎng)絡(luò)使世界各地的人們得以即時交流和分享想法。微小的MEMS光開關(guān)在這些數(shù)量龐大的光纖系統(tǒng)中發(fā)揮著重要作用。此類開關(guān)涉及機械、光學(xué)和電氣三個領(lǐng)域,...
思立微電子在MEMS超聲技術(shù)上取得突破,在10MHz頻點轉(zhuǎn)換效率可達1.5%
日前,上海思立微電子在MEMS超聲技術(shù)上歷時兩年的潛心研發(fā),取得了突破性進展。其自主研發(fā)的超聲換能器已通過系列性能測試,在10MHz頻點轉(zhuǎn)換效率可達1....
如何推導(dǎo)電容式MEMS加速度計中使用的傳遞函數(shù)
在本文中,我們將了解如何推導(dǎo)電容式 MEMS 加速度計中使用的質(zhì)量-彈簧-阻尼系統(tǒng)的傳遞函數(shù)。
基于GPS/MEMS組合芯片實現(xiàn)高精度定位解決方案
在過去十年中,GPS定位已經(jīng)從主要由專業(yè)人員使用的專用高端技術(shù)轉(zhuǎn)變?yōu)橄M者日常使用的一種技術(shù)。這種轉(zhuǎn)變是具有GPS功能的兩代器件在大眾化設(shè)備中普及GPS...
鈦MEMS技術(shù)在藥物輸送和微流控系統(tǒng)的應(yīng)用前景
近年來,受益于MEMS技術(shù),傳感器和執(zhí)行器小型化的同時,性能、功能和靈敏度也得到增強;加上低成本、個性化醫(yī)療應(yīng)用潛力,MEMS器件在醫(yī)療和生物領(lǐng)域的應(yīng)用...
利用冗余節(jié)點最佳移動路徑算法解決節(jié)點移動的節(jié)能路由問題
無線傳感器網(wǎng)絡(luò)所具有的眾多類型的傳感器,可探測包括地震、電磁、溫度、濕度、噪聲、光強度、壓力、土壤成分、移動物體的大小、速度和方向等周邊環(huán)境中多種多樣的...
基于MEMS的汽車激光微型投影機的優(yōu)化設(shè)計
用于汽車的現(xiàn)代平視顯示器 (HUD) 使用三重激光二極管微型投影儀解決方案,可實現(xiàn)無限聚焦、陽光下的可讀性、出色的色彩和小尺寸。汽車三重半導(dǎo)體激光二極管...
詳解意法半導(dǎo)體LSM6DSV320X傳感器開發(fā)平臺性能
ST又一新品力作,LSM6DSV320X傳感器,并且得到STEVAL-MKI109D主板的支持,使用配套的上位機可以實現(xiàn)豐富的產(chǎn)品體驗和開發(fā)輔助。本文主...
2025-10-18 標(biāo)簽:傳感器mems意法半導(dǎo)體 4.5k 0
應(yīng)用于醫(yī)療設(shè)計項目的傳感器網(wǎng)絡(luò)技術(shù)介紹
醫(yī)學(xué)不推進技術(shù),技術(shù)進步醫(yī)學(xué)。對于攔截和預(yù)防性醫(yī)療技術(shù)的診斷,維護和監(jiān)測尤其如此。特別是傳感器技術(shù),基于小型化的改進 - 特別是在MEMS領(lǐng)域 - 處于...
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