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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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慣性導(dǎo)航的制霸,捷聯(lián)式慣導(dǎo)系統(tǒng)的優(yōu)越性分析
捷聯(lián)式管道系統(tǒng)的最大特點(diǎn)是依靠短發(fā)建立起導(dǎo)航坐標(biāo)系統(tǒng),即平臺(tái)坐標(biāo)系以數(shù)學(xué)平臺(tái)形式存在,這樣省略了復(fù)雜的物理實(shí)體平臺(tái),結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小、重量輕、成本低、維...
2016-10-21 標(biāo)簽:MEMS慣性導(dǎo)航捷聯(lián)式慣導(dǎo)系統(tǒng) 3.9k 0
預(yù)測(cè)和管理MEMS陀螺儀中的關(guān)鍵噪聲源
當(dāng)MEMS慣性測(cè)量單元(IMU)在運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)中作為反饋傳感器運(yùn)行時(shí),陀螺儀噪聲是一種需要了解的重要行為,因?yàn)樗赡軐?dǎo)致其所監(jiān)控的平臺(tái)上出現(xiàn)不良的物理運(yùn)...
常規(guī)的絕緣層上硅 (Silicon on Insulator, SOI)是通過(guò)注氧隔離 (Separation by Implanted Oxygen,...
基于新型三明治結(jié)構(gòu)的MEMS微波功率傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
本文提出了一種新型的三明治結(jié)構(gòu)MEMS微波功率傳感器結(jié)構(gòu),與傳統(tǒng)傳感器相比,新結(jié)構(gòu)由于采用了垂直傳熱方式而具有較小的熱損耗。在輸入相同功率的情況下,模擬...
大多數(shù)MOEMS制作技術(shù)是直接由IC工業(yè)及其制造標(biāo)準(zhǔn)演化而來(lái)。因此,在MOEMS中采用體和表面微機(jī)械加工及高產(chǎn)量的微機(jī)械加工(HARM)技術(shù)。但有管芯尺...
TDK推出的全球第一款MEMS超聲波飛行時(shí)間傳感器的詳細(xì)資料說(shuō)明
基于 MEMS 的微型“硅芯片聲吶”裝置提供了毫米級(jí)精度的距離傳感功能,并具有業(yè)內(nèi)最低的功耗。這種 MEMS 超聲波傳感器可用于距離測(cè)量、位置追蹤、人員...
智能模塊和/或 SiP 集成是關(guān)鍵,將允許大規(guī)模部署連接的設(shè)備。為此,價(jià)值鏈中不同參與者之間的早期合作以及簡(jiǎn)化的供應(yīng)鏈非常重要。系統(tǒng)集成商必須開(kāi)發(fā)并...
MEMS技術(shù)是隨著半導(dǎo)體集成電路微細(xì)加工技術(shù)和超精密機(jī)械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來(lái)的,它開(kāi)辟了一個(gè)全新的技術(shù)領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè),其目標(biāo)是把信息的獲取、處理和執(zhí)行集...
血壓計(jì)用MEMS壓力傳感器的設(shè)計(jì)與制造
MEMS壓力傳感器是傳感器行業(yè)中市場(chǎng)規(guī)模最大的細(xì)分市場(chǎng)之一,具有體積小、功耗低、價(jià)格便宜等優(yōu)點(diǎn)。隨著時(shí)代的發(fā)展及人們對(duì)健康的重視度提高,血壓儀開(kāi)始走進(jìn)用...
物聯(lián)網(wǎng)時(shí)代,那些當(dāng)紅的傳感器
據(jù)中國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展研究院預(yù)測(cè),未來(lái)五年國(guó)內(nèi)傳感器市場(chǎng)年復(fù)合增長(zhǎng)31%。汽車、物流、礦業(yè)探勘、煤礦安監(jiān)、安防、RFID標(biāo)簽卡領(lǐng)域的傳感器市場(chǎng)增長(zhǎng)較快...
基于MEMS加速度計(jì)實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)傾角測(cè)量系統(tǒng)的設(shè)計(jì)
基于MEMS加速度計(jì)的傾角測(cè)量模塊具有體積小、質(zhì)量輕、成本低、抗沖擊、可靠性高等優(yōu)點(diǎn)。對(duì)有加速度干擾下的傾角測(cè)量存在較大誤差,本文圍繞這一誤差產(chǎn)生的來(lái)源...
2020-08-05 標(biāo)簽:mems電機(jī)測(cè)量系統(tǒng) 3.7k 0
MEMS芯片質(zhì)量影響因素總結(jié) MEMS芯片制程技術(shù)類型
中科融合是一家國(guó)際領(lǐng)先的先進(jìn)光學(xué)智能傳感器芯片企業(yè),是國(guó)內(nèi)唯一擁有自主研發(fā)“MEMS芯片+SOC芯片+核心算法”,并且提供完整的AI+3D芯片以及模組產(chǎn)...
原子層沉積(ALD)工藝助力實(shí)現(xiàn)PowderMEMS技術(shù)平臺(tái)
Fraunhofer ISIT的PowderMEMS是一項(xiàng)新研發(fā)的創(chuàng)新技術(shù),用于在晶圓級(jí)上從多種材料中創(chuàng)建三維微結(jié)構(gòu)。該技術(shù)基于通過(guò)原子層沉積(ALD)...
采用MEMS傾角傳感器實(shí)現(xiàn)傾角測(cè)量系統(tǒng)的軟硬件設(shè)計(jì)
在地質(zhì)石油勘探、設(shè)備安裝、道路橋梁建設(shè)等工程應(yīng)用以及機(jī)器人控制、坦克和艦船火炮平臺(tái)控制、飛機(jī)姿態(tài)控制等系統(tǒng)的自動(dòng) 水平調(diào)節(jié)中,都需要高精度的傾角測(cè)量。但...
2020-08-22 標(biāo)簽:傳感器mems測(cè)量系統(tǒng) 3.7k 0
MEMS慣性測(cè)量單元SCHA634產(chǎn)品概述
根據(jù)上述4顆MEMS芯片(3種類型:X/Y軸陀螺儀、Z軸陀螺儀和三軸加速度計(jì))的結(jié)構(gòu)剖析及材料分析,繪制出MEMS芯片結(jié)構(gòu)示意圖,并以X/Y軸陀螺儀為例...
近年來(lái),隨著機(jī)器人、可穿戴設(shè)備和物聯(lián)網(wǎng)(IoT)等領(lǐng)域的快速發(fā)展,人們對(duì)基于柔性聚合物的壓電薄膜(特別是氧化鋅(ZnO)和氮化鋁(AlN))的研究興趣顯...
基于Mems的應(yīng)用不斷擴(kuò)大,主要原因是Mems傳感器的成本下降,這也得益于8英寸硅片生產(chǎn)的轉(zhuǎn)變。
拆解UGREEN綠聯(lián)HiTune H6 Pro真無(wú)線降噪耳機(jī) 搭載SSP707電源管理芯片 內(nèi)置敏芯股份MEMS麥克風(fēng)拾音
在當(dāng)下的真無(wú)線耳機(jī)市場(chǎng)中,針對(duì)于不同的應(yīng)用場(chǎng)景和佩戴舒適性需求,又可以細(xì)分為帶耳塞的入耳式、不帶耳塞的半入耳式和完全不入耳的開(kāi)放式三種形態(tài)。其中,隨著半...
通過(guò)傳感器實(shí)現(xiàn)嵌入式自主檢測(cè)系統(tǒng)的振動(dòng)監(jiān)控
現(xiàn)在,傳感器和傳感器處理方面的技術(shù)發(fā)展可實(shí)現(xiàn)完全嵌入式自主檢測(cè)系統(tǒng)的部署,并且能夠可靠地對(duì)設(shè)備缺陷、不平衡、性能變化以及其他異常進(jìn)行檢測(cè)和分析,如圖1所示。
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