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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導體制造技術(shù))基礎上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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為了獲得高分辨率數(shù)據(jù),可靠地識別小目標,激光必須準直地擊中目標,這是通過在激光器前面放置一個透鏡來實現(xiàn)的。
我們曾在之前發(fā)布的文章《解讀MEMS麥克風技術(shù)與設計》中指出, MEMS麥克風的需求是由客戶所要求的音頻功能驅(qū)動的,如立體聲、語音識別、聲音指向性、噪音...
在環(huán)境監(jiān)測、醫(yī)療診斷和工業(yè)產(chǎn)品制造等領域,能夠?qū)Χ喾N分析物進行選擇性檢測的高性能氣體/化學傳感器是近些年研究關(guān)注的熱點。
振動監(jiān)測 (VM) 已經(jīng)問世很長一段時間,并且已被用于監(jiān)測機器、設備或結(jié)構(gòu)的健康狀況。在機器運行過程中,可以利用專用傳感器收集其振動數(shù)據(jù)以對其進行實時監(jiān)...
中山大學電子與信息技術(shù)學院林佑昇副教授團隊近日在Electronics期刊上發(fā)表了一篇綜述文章,研究并評估了利用靜電驅(qū)動(ESA)、電熱驅(qū)動(ETA)、...
原子層沉積(ALD)工藝助力實現(xiàn)PowderMEMS技術(shù)平臺
Fraunhofer ISIT的PowderMEMS是一項新研發(fā)的創(chuàng)新技術(shù),用于在晶圓級上從多種材料中創(chuàng)建三維微結(jié)構(gòu)。該技術(shù)基于通過原子層沉積(ALD)...
高性能運動跟蹤技術(shù)已經(jīng)從深奧的軍事、航空電子設備、海洋和工業(yè)應用遷移到不斷擴大的消費應用范圍。盡管如此,將高性能運動跟蹤引入消費市場通常會迫使設計人員協(xié)...
5.??? MEMS 振蕩器對 EMI 的敏感度要低得多 電磁能在大多數(shù)系統(tǒng)中很常見,可以通過將晶體諧振器連接到包含振蕩器電路的 IC 的暴露 PCB ...
1 簡介 半導體組件有望在產(chǎn)品的整個生命周期內(nèi)可靠地運行。 選擇具有最高可靠性等級的設備可以限制故障組件導致現(xiàn)場產(chǎn)品出現(xiàn)故障的可能性。 SiTime 提...
一、什么是5G 5G是第五代移動通信技術(shù)(5th-Generation)的簡稱,是新一代的蜂窩移動通信技術(shù),也是繼4G、3G、2G系統(tǒng)之后的延伸,5G的...
電子發(fā)燒友網(wǎng)報道(文/程文智)不論我們設計的電子產(chǎn)品是應用在云計算、無線LTE、數(shù)據(jù)中心,還是物聯(lián)網(wǎng)、汽車、醫(yī)療保健,或者是航空航天等領域,系統(tǒng)內(nèi)必然需...
基于GPS/MEMS組合芯片實現(xiàn)高精度定位解決方案
在過去十年中,GPS定位已經(jīng)從主要由專業(yè)人員使用的專用高端技術(shù)轉(zhuǎn)變?yōu)橄M者日常使用的一種技術(shù)。這種轉(zhuǎn)變是具有GPS功能的兩代器件在大眾化設備中普及GPS...
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