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微機電系統(tǒng)（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。

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MEMS加速度計芯片的使用環(huán)境

通過測量由于重力引起的加速度，你可以計算出設備相對于水平面的傾斜角度。通過分析動態(tài)加速度，你可以分析出設備移動的方式?，F(xiàn)在工程師們已經(jīng)想出了很多方法獲...

2020-03-06 標簽：mems 加速度計重力感應 864 0

MEMS加速度計的三種類型簡介

MEMS加速度計的三種類型簡介隨著MEMS技術的發(fā)展，慣性傳感器目前是最為成功應用最廣泛的微機電系統(tǒng)器件之一。而MEMS加速度計就是慣性傳感器件的杰出...

2020-03-06 標簽：mems MEMS加速度計慣性傳感器 4.7k 0

淺談MEMS加速度計芯片的應用環(huán)境

MEMS加速度計芯片的應用環(huán)境通過測量由于重力引起的加速度，你可以計算出設備相對于水平面的傾斜角度。通過分析動態(tài)加速度，你可以分析出設備移動的方式。...

2020-06-15 標簽：芯片 mems 加速度計 929 0

關于MEMS加速度計工藝及材料的簡單介紹

一 MEMS加速度計所用的材料例如用于做襯底的襯底材料，用于做掩膜的掩膜材料，用于表面微加工的犧牲層材料等等。Mems加速度計常用的材料有單晶硅、二氧...

2020-06-27 標簽：mems 加速度計 2.8k 0

未來MEMS慣性傳感器發(fā)展的四個主要方向

MEMS慣性傳感器的發(fā)展方向 MEMS加速度計是MEMS領域最早開始研究的傳感器之一。經(jīng)過多年的發(fā)展MEMS加速度計的設計和加工技術已經(jīng)日趨成熟。目前...

2020-06-27 標簽：傳感器 mems 1.8k 0

國內(nèi)最小MEMS溫濕度傳感器在尺寸與智能方面建立了新的標準

創(chuàng)立于2003年9月的廣州奧松電子有限公司為國內(nèi)濕度傳感器自主研發(fā)企業(yè)，是目前國內(nèi)先進的應用MEMS工藝技術生產(chǎn)傳感器及芯片的制造商，也是廣東省MEMS...

2020-03-08 標簽：傳感器 mems 1.3k 0

研究稱到2027年MEMS傳感器市場超過500億美元

近日，據(jù)Fact.MR的一項新研究表示，到2027年，全球MEMS傳感器市場將以9%的復合年增長率增長，達到500億美元。

2020-03-08 標簽：傳感器 mems 智能家居 2.7k 0

基于硅的MEMS主要六項加工工藝

腐蝕是硅微機械加工的最主要的技術，各種硅微機械幾乎都要用腐蝕成型。腐蝕法分濕法腐蝕和干法腐蝕兩大類，濕法腐蝕又分為溶液法及陽極法，干法腐蝕分...

2020-03-08 標簽：傳感器 mems 5.5k 0

MEMS壓力傳感器技術的主要組成

MEMS，微機電系統(tǒng)，是1959年12月由理查德·費曼最早提出的概念，是將微觀模擬機械元件機構、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、直至接口、...

2020-03-07 標簽：mems 壓力傳感器 6.9k 0

微機電系統(tǒng)的三種材料和加工技術

微機電設備的尺寸通常在20微米到一毫米之間，它們內(nèi)部通常包含一個微處理器和若干獲取外界信息的微型傳感器。

2020-03-07 標簽：傳感器 mems 微機電系統(tǒng) 7.8k 0

小米10手機芯片全是使用的美國芯片

到目前為止，我們已經(jīng)看到的所有小米Mi 10和Mi 10 Pro型號均采用高通驍龍865平臺并支持LPDDR5。我們用于首次拆解的手機型號是Mi 10，...

2020-02-20 標簽：芯片 MEMS 小米 2.5萬 0

開源飛控的發(fā)展和介紹

所謂開源飛控就是建立在開源思想基礎上的飛行自主控制器項目（Open Source AutoPilot），同時包含開源軟件和開源硬件，而軟件則包含飛控硬件...

2020-02-03 標簽：傳感器 MEMS 人工智能 7.4k 0

MEMS氣體傳感器可以滿足各類應用中的特殊需求

據(jù)麥姆斯咨詢報道，CO2（二氧化碳）濃度是衡量室內(nèi)空氣質(zhì)量的關鍵指標。良好的空氣質(zhì)量可以讓身處其中的人員精神更佳、生產(chǎn)效率更高；而CO2濃度過高則代表著...

2020-01-13 標簽：mems 氣體傳感器 2.1k 0

TDK的MEMS超聲波ToF傳感器解決方案與光學ToF傳感器相比具有很多優(yōu)勢

TDK 公司（TSE：6762）宣布現(xiàn)在可以選擇擴大了感應范圍的基于Chirp CH-201 MEMS的超聲波飛行時間（ToF）傳感器的原始設備制造商（...

2020-01-08 標簽：mems TDK tof傳感器 8.1k 0

中芯紹興項目計劃今年1月進入量產(chǎn)階段將打造成為世界一流的特色工藝半導體代工企業(yè)

近日，紹興市領導到中芯紹興MEMS和功率器件芯片制造及封裝測試項目進行了調(diào)研。據(jù)紹興發(fā)布報道，中芯紹興項目計劃今年1月進入量產(chǎn)階段。

2020-01-06 標簽：中芯國際 mems 6.5k 0

未來5G隨著頻率越來越高薄膜將極大的推動MEMS市場

“基于體硅和薄膜技術的傳感器，執(zhí)行器和換能器的壓電市場預計將在2024年達到485億美元，2018年算起的話，年復合增長率為12.6％?！盰ole Dé...

2020-01-02 標簽：薄膜 mems 5G 1.5k 0

先鋒和PSSI共同研發(fā)基于MEMS微鏡的3D激光雷達，將于明年上半年推出

12月24日，日本先鋒（Pioneer）和其旗下子公司PSSI聯(lián)合開發(fā)了一款可量產(chǎn)的3D激光雷達（LiDAR），該傳感器體積更小、測量距離更遠，具備更優(yōu)...

2019-12-29 標簽：mems 激光雷達自動駕駛 1.7k 0

新工藝的關注度正在升溫 MEMS傳感器的熱度日益上升

但其實在芯片代工方面，還有很多其他不同的工藝和廠商。例如硅鍺和SOI等就是其典型代表。另外，還有如MEMS、砷化鎵等第三代半導體等工藝也是市場關注的熱點...

2019-12-26 標簽：傳感器 mems 1.4k 0

耐威科技8英寸MEMS芯片生產(chǎn)線首臺設備搬入

據(jù)北京亦莊官方消息，該項目建成后將成為北京首條商業(yè)量產(chǎn)、全球業(yè)界最先進的8英寸MEMS芯片生產(chǎn)線，最終達產(chǎn)后將形成月產(chǎn)3萬片的生產(chǎn)能力。

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MEMS在物聯(lián)網(wǎng)時代是如何起航的

隨著物聯(lián)網(wǎng)進入實質(zhì)性落地階段，MEMS市場需求增長明顯，全球MEMS市場突破100億美元，復合增速接近20%。

2019-12-25 標簽：傳感器 mems 物聯(lián)網(wǎng) 1.9k 0

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