干法刻蝕解決RIE中無法得到高深寬比結構或陡直壁問題 在 MEMS 制造工藝中,常用的干法刻蝕包括反應離子刻蝕 (Reactive lon Etching.... Semi Connect 發(fā)表于 10-10 10:12 ?7304次閱讀 常見的各向同性濕法刻蝕的實際應用 濕法刻蝕也稱腐蝕。硅的濕法刻蝕是 MEMS 加工中常用的技術。其中,各向同性 (Isotropic).... Semi Connect 發(fā)表于 10-08 09:16 ?7799次閱讀