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金屬層1工藝是指形成第一層金屬互連線,第一層金屬互連線的目的是實(shí)現(xiàn)把不同區(qū)域的接觸孔連起來(lái),以及把不同區(qū)域的通孔1連起來(lái)。第一金屬層是大馬士革的銅結(jié)構(gòu),...
離子注入是SiC器件制造的重要工藝之一。通過(guò)離子注入,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)n型區(qū)域和p型區(qū)域?qū)щ娦钥刂?。本文?jiǎn)要介紹離子注入工藝及其注意事項(xiàng)。
與亞微米工藝類(lèi)似,源漏離子注入工藝是指形成器件的源漏有源區(qū)重?fù)诫s的工藝,降低器件有源區(qū)的串聯(lián)電阻,提高器件的速度。同時(shí)源漏離子注入也會(huì)形成n型和p型阱接...
與亞微米工藝類(lèi)似,側(cè)墻工藝是指形成環(huán)繞多晶硅的氧化介質(zhì)層,從而保護(hù)LDD 結(jié)構(gòu),防止重?fù)诫s的源漏離子注入到LDD結(jié)構(gòu)的擴(kuò)展區(qū)。側(cè)墻是由兩個(gè)主要工藝步驟形...
與亞微米工藝類(lèi)似,多晶硅柵工藝是指形成 MOS器件的多晶硅柵極,柵極的作用是控制器件的關(guān)閉或者導(dǎo)通。淀積的多晶硅是未摻雜的,它是通過(guò)后續(xù)的源漏離子注入進(jìn)...
等離子體,英文名稱(chēng)plasma,是物質(zhì)的第四態(tài),其他三態(tài)有固態(tài),液態(tài),氣態(tài)。在半導(dǎo)體領(lǐng)域一般是氣體被電離后的狀態(tài),又被稱(chēng)為‘電漿’,具有帶電性和流動(dòng)性的特點(diǎn)。
STI 隔離工藝是指利用氧化硅填充溝槽,在器件有源區(qū)之間嵌入很厚的氧化物,從而形成器件之間的隔離。利用STI 隔離工藝可以改善寄生場(chǎng)效應(yīng)晶體管和閂鎖效應(yīng)。
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