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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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基于MEMS技術(shù)的風(fēng)速和風(fēng)向測(cè)量傳感器設(shè)計(jì)
硅薄膜式測(cè)風(fēng)傳感器的設(shè)計(jì)示意圖如圖1所示。薄膜式風(fēng)速風(fēng)向傳感器主要是利用風(fēng)吹薄膜對(duì)薄膜產(chǎn)生風(fēng)壓,風(fēng)壓導(dǎo)致薄膜形變,薄膜上的應(yīng)變電阻就會(huì)感應(yīng)到薄膜的形變。...
基于MEMS技術(shù)的微型硅基聲吶器件提供了毫米級(jí)精度的距離傳感功能
超低功耗的片上系統(tǒng)(SoC)控制整個(gè)ToF處理過(guò)程:發(fā)送超聲波脈沖,將接收的超聲回波數(shù)字化,檢測(cè)ToF到最近目標(biāo)并通過(guò)I2C返回16位ToF信號(hào)。SoC...
MEMS氣壓傳感器的工作原理及在物聯(lián)網(wǎng)中的應(yīng)用
壓力傳感器有多種不同的應(yīng)用,其中最常見(jiàn)的應(yīng)用是氣象監(jiān)測(cè)。壓力傳感器現(xiàn)在已非常普遍。它現(xiàn)在可能就存在你的口袋里!是的,在你的手機(jī)里就有一個(gè)。你的手機(jī)使用壓...
2018-11-28 標(biāo)簽:mems物聯(lián)網(wǎng)氣壓傳感器 7.1k 0
MEMS技術(shù)淺談及應(yīng)用設(shè)計(jì)方案集錦
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS),在歐洲也被稱為微系統(tǒng)技術(shù),或在日本被稱為微機(jī)械,是一類(lèi)器件,其特點(diǎn)是尺寸很小,制造方式特殊。MEMS器件的特征長(zhǎng)度從1毫米到1微...
TowerJazz和Crocus合作量產(chǎn)TMR磁傳感器
據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,TowerJazz和TMR磁傳感器技術(shù)及嵌入式MRAM(磁隨機(jī)存儲(chǔ)器)領(lǐng)先開(kāi)發(fā)商Crocus公司,近日共同宣布雙方將利用TowerJa...
掌控MEMS陀螺儀噪聲響應(yīng)的兩個(gè)重要方面
根本問(wèn)題是角速率反饋環(huán)路中的噪聲可能直接影響運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)的關(guān)鍵性能標(biāo)準(zhǔn),因此,在設(shè)計(jì)新系統(tǒng)的過(guò)程中,應(yīng)當(dāng)盡早予以考慮。相比于僅知道需要低噪聲的人,能夠量...
2018-06-12 標(biāo)簽:mems陀螺儀數(shù)字濾波器 7k 0
日立新型MEMS加速度計(jì)比商用MEMS加速度計(jì)靈敏度跟高,且功耗降低50%
日立通過(guò)在MEMS質(zhì)量塊上制作貫通孔來(lái)降低空氣阻力,并且貫通孔的直徑在上層和下層之間是變化的。上層為電極部分,下層為重量較大的運(yùn)動(dòng)層。上述方法可將空氣阻...
SiTime推出MEMS參考時(shí)鐘支持新物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用所需的最佳尺寸、功耗和精度
SiTime市場(chǎng)部執(zhí)行副總裁Piyush Sevalia指出:“SiTime獨(dú)到的時(shí)序產(chǎn)品致力于為最嚴(yán)峻挑戰(zhàn)的設(shè)計(jì)提供解決方案。伴隨著物聯(lián)網(wǎng)的快速發(fā)展,...
2018-02-02 標(biāo)簽:mems物聯(lián)網(wǎng)sitime 6.9k 0
MEMS諧振器的發(fā)展史 Si50x CMEMS振蕩器概述
20世紀(jì)中期以來(lái),頻率控制的市場(chǎng)就是由石英晶體諧振器和石英振蕩器所主導(dǎo)的。甚至到了今天,幾乎所有的電子設(shè)備在某方面仍是依賴機(jī)械石英晶體來(lái)產(chǎn)生多種可能運(yùn)行...
一文詳解導(dǎo)航系統(tǒng)的慣性技術(shù)原理
慣性導(dǎo)航技術(shù)是慣性技術(shù)的核心和發(fā)展標(biāo)志,慣性導(dǎo)航系統(tǒng) (Inertia navigation system,INS) 利用陀螺儀和加速度計(jì) (統(tǒng)稱為慣性...
2023-08-22 標(biāo)簽:mems陀螺儀導(dǎo)航系統(tǒng) 6.9k 0
MEMS傳感器在工業(yè)自動(dòng)化中的設(shè)計(jì)
工業(yè)4.0和工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)(IIoT)等計(jì)劃正在幫助制造企業(yè)提高生產(chǎn)流程的效率。基于云的分析應(yīng)用程序負(fù)責(zé)整理和提供運(yùn)行生產(chǎn)或制造操作的許多不同方面的上下文。...
華中科技大學(xué):研發(fā)納米材料與MEMS的“微納合奏”傳感芯片
研究背景 隨著“超越摩爾”范式的演進(jìn),微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)作為集成多種傳感和執(zhí)行功能的關(guān)鍵技術(shù),已成為下一代智能傳感應(yīng)用的核心。然而,高性能MEMS生...
通過(guò)物理氣相沉積法生長(zhǎng)出高質(zhì)量、大尺寸的SiC單晶材料
聽(tīng)多了虛擬貨幣、虛擬現(xiàn)實(shí)、虛擬主機(jī)……有沒(méi)有聽(tīng)過(guò)虛擬生長(zhǎng)?
Piezoelectricity這詞來(lái)源于希臘語(yǔ)piezein,表示施加壓力,1880年由兩位法國(guó)物理學(xué)家(Pierre,Paul-Jacques Cu...
靜電力是另一種可能引起粘附的作用力。在靜電驅(qū)動(dòng)或摩擦的作用下,殘余電荷會(huì)集聚在MEMS器件中的絕緣部件或絕緣層上,例如:氧化硅或氮化硅絕緣層和疏水涂層等...
2019-02-14 標(biāo)簽:傳感器驅(qū)動(dòng)器mems 6.8k 0
MEMS是一種全新的必須同時(shí)考慮多種物理場(chǎng)混合作用的研發(fā)領(lǐng)域,相對(duì)于傳統(tǒng)的機(jī)械,它們的尺寸更小,最大的不超過(guò)一個(gè)厘米,甚至僅僅為幾個(gè)微米,其厚度就更加微...
應(yīng)用與音頻設(shè)計(jì)的MEMS麥克風(fēng)技術(shù)介紹
使用CMOS技術(shù)還可以在同一芯片上實(shí)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)接口,增加集成度并降低系統(tǒng)功耗,因?yàn)樾酒叫酒倪B接和整體材料清單都很少。隨著可靠性的提高,這些因素促使該技術(shù)...
MEMS 麥克風(fēng)中數(shù)字 PDM 和 I2S 接口之比較
作者:Jeff Smoot 麥克風(fēng)用在嵌入式系統(tǒng)中已經(jīng)有很多年了。然而,自其誕生以來(lái),由于家居、汽車(chē)和可穿戴設(shè)備中基于語(yǔ)音的應(yīng)用范圍不斷擴(kuò)大,MEMS麥...
鍵合技術(shù)是 MEMS 工藝中常用的技術(shù)之一,是指將硅片與硅片、硅片與玻璃或硅片與金屬等材料通過(guò)物理或化學(xué)反應(yīng)機(jī)制緊密結(jié)合在一起的一種工藝技術(shù)。
妙用MEMS加速度計(jì) + 高通濾波器組合“砍”系統(tǒng)功耗
MEMS加速度計(jì)已成為行動(dòng)裝置省電設(shè)計(jì)的重要元件。內(nèi)建高通濾波器并具備自由落體偵測(cè)功能的加速度計(jì),能藉由一支中斷接腳為處理器提供可靠的喚醒和無(wú)動(dòng)作偵測(cè)訊...
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