來源：Park Systems

SEMICON CHINA 2024將于3月20-3月22日在上海舉辦，連續(xù)參展的Park Systems將以“創(chuàng)新 卓越 優(yōu)質(zhì)”為主題，攜旗下的核心產(chǎn)品重磅亮相此展覽會(huì)。

公司簡介速覽

Park Systems成立于1988年， 是全球首個(gè)推出商業(yè)原子力顯微鏡產(chǎn)品的上市公司 。Park公司成立30多年來，始終致力于納米領(lǐng)域的形貌&力學(xué)測量和半導(dǎo)體先進(jìn)制程工藝的計(jì)量的新技術(shù)新產(chǎn)品的開發(fā)。其納米計(jì)量系統(tǒng)（包括 AFM 和橢偏儀）被半導(dǎo)體、電子、材料科學(xué)、生命科學(xué)等眾多行業(yè)的研究人員和科學(xué)家廣泛使用。

Park Systems為半導(dǎo)體制造計(jì)量、器件失效分析以及各種工業(yè)應(yīng)用提供了一系列自動(dòng)化原子力顯微鏡。其產(chǎn)品組合能夠滿足半導(dǎo)體和顯示行業(yè)的需求，提供對(duì)納米級(jí)結(jié)構(gòu)的精準(zhǔn)控制和測量，這對(duì)于器件制造和性能提升尤為重要。Park原子力顯微鏡技術(shù)所提供的測量準(zhǔn)確性、重復(fù)性和全面性顯著提高了制成效率，并提升了終端產(chǎn)品的質(zhì)量。

核心產(chǎn)品搶“鮮”看

Park NX-Wafer

用于半導(dǎo)體晶圓制程

·為FA和研究實(shí)驗(yàn)室提供精準(zhǔn)的原子力顯微鏡解決方案

·實(shí)現(xiàn)高量率的精準(zhǔn)且高重復(fù)性的測量

·低噪聲Z探測器可精確測量原子力顯微鏡表面形貌

·使用真正非接觸模式掃描方式，實(shí)現(xiàn)樣品無損檢測

Park NX-3DM

自動(dòng)化工業(yè)AFM用于高分辨率三維計(jì)量

·專為凹陷和懸垂結(jié)構(gòu)的側(cè)壁分析進(jìn)行了優(yōu)化

·采用創(chuàng)新設(shè)計(jì)的旋轉(zhuǎn)掃描器，實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)的3D計(jì)量

·能夠在精細(xì)的光刻膠表面進(jìn)行非破壞性測量

Park NX-eAFM

·通過C-AFM和EFM實(shí)現(xiàn)晶圓級(jí)電學(xué)分析

·面向納米器件的電測試解決方案和納米成像能力

·對(duì)薄膜擊穿電壓及相關(guān)特性、閾值電壓的成像

Park NX-Mask

用于半導(dǎo)體光掩模修復(fù)

·緊密集成到產(chǎn)線過程中，實(shí)現(xiàn)即時(shí)、無縫修復(fù)

·自動(dòng)化原子力顯微鏡用于表面粗糙度和圖案步高測量

·兼容自動(dòng)化雙POD系統(tǒng)，用于EUV掩模處理

·綜合解決方案，用于缺陷檢測和修復(fù)后驗(yàn)證

·準(zhǔn)確、無損的機(jī)械缺陷去除

Park NX-Hybrid WLI

AFM和WLI聯(lián)用技術(shù)，Park NX-Hybrid WLI 應(yīng)運(yùn)而生！

·它結(jié)合了頂級(jí)的半導(dǎo)體計(jì)量技術(shù)：白光干涉儀（WLI）和原子力顯微鏡（AFM）

·WLI和AFM一起在范圍、分辨率和速度方面表現(xiàn)出色

·兩個(gè)物鏡可通過電動(dòng)線性鏡頭更換器自動(dòng)更換

Park NX-TSH

用于大型平板顯示器計(jì)量

·專為建立下一代平板顯示器生產(chǎn)工廠的制造商而開發(fā)

·用于OLED、LCD和2D編碼器樣品的全自動(dòng)探針掃描頭

·為OLED、LCD和光掩模提供可靠且高分辨率的AFM圖像

·克服了樣品尺寸和重量的限制

售后服務(wù)優(yōu)質(zhì)暖心

和客戶對(duì)接中，工程師能積極參與工廠的生產(chǎn)規(guī)劃環(huán)節(jié)，再根據(jù)中國市場情況，去工廠對(duì)客戶的設(shè)備需求進(jìn)行出廠檢查以及調(diào)試。如有需要，我們的工程師還會(huì)陪同客戶去工廠對(duì)設(shè)備進(jìn)行預(yù)驗(yàn)收。

當(dāng)問題出現(xiàn)時(shí)，客戶可以通過電話、微信、網(wǎng)絡(luò)留言等多種方式聯(lián)系到我們。如果條件允許，我們不僅可以進(jìn)行視頻協(xié)助，甚至可以派遣就近人員上門處理。在中國，我們的備件倉庫可以實(shí)現(xiàn)80%以上的本土維修。

在Park Systems，我們致力于向全球客戶提供高水準(zhǔn)的服務(wù)質(zhì)量，并提供全面的技術(shù)支持，幫助客戶實(shí)現(xiàn)他們的目標(biāo)。我們的專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)隨時(shí)提供Park原子力顯微鏡安裝、操作等相關(guān)方面的幫助。我們承諾及時(shí)、有效地解決客戶的相關(guān)疑問。

審核編輯 黃宇